درباره ما

Semicorex Advanced Material Technology Co., Ltd یک تامین کننده با کیفیت بالا در زمینه محصولات پوشش SiC در چین است. ما متعهد به تحقیق و توسعه مواد نیمه هادی نوآورانه، به ویژه فناوری پوشش SiC و کاربرد آن در صنعت نیمه هادی هستیم. ما طیف گسترده ای از محصولات با کیفیت بالا را ارائه می دهیم مانندگیرنده های گرافیت با پوشش SiC, روکش کاربید سیلیکون, گیرنده های اپیتاکسی UV عمیق, بخاری های بستر CVD, حامل های ویفر CVD SiC, قایق های ویفر، همچنیناجزای نیمه هادیومحصولات سرامیکی کاربید سیلیکون.

لایه نازک SiC مورد استفاده در لایه‌های اپیتاکسی تراشه‌های LED و زیرلایه‌های تک کریستال سیلیکونی دارای فاز مکعبی با ساختار شبکه کریستالی مشابه الماس است و از نظر سختی پس از الماس در رتبه دوم قرار دارد. SiC یک ماده نیمه هادی با فاصله باند گسترده شناخته شده با پتانسیل بسیار زیاد برای کاربرد در صنعت الکترونیک نیمه هادی است و دارای خواص فیزیکی و شیمیایی عالی مانند هدایت حرارتی بالا، ضریب انبساط حرارتی پایین و مقاومت در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی است.

در تولید وسایل الکترونیکی، ویفرها باید از چندین مرحله عبور کنند، از جمله اپیتاکسی سیلیکونی که در آن ویفرها بر روی گیرنده های گرافیتی حمل می شوند. کیفیت و خواص سوسپتورها نقش مهمی در کیفیت لایه اپیتاکسیال ویفر دارد. پایه گرافیت یکی از اجزای اصلی تجهیزات MOCVD است و حامل و گرم کننده زیرلایه است. پارامترهای عملکرد پایدار آن از نظر حرارتی مانند یکنواختی حرارتی نقش تعیین کننده ای در کیفیت رشد مواد اپیتاکسیال ایفا می کند و به طور مستقیم میانگین یکنواختی و خلوص را تعیین می کند.

در Semicorex، ما از CVD برای تولید لایه‌های متراکم β-SiC بر روی گرافیت ایزواستاتیک با استحکام بالا استفاده می‌کنیم که در مقایسه با مواد SiC متخلخل، خلوص بالاتری دارد. محصولات ما مانند گیرنده های گرافیتی با پوشش SiC به پایه گرافیت خواص ویژه ای می بخشند، سطح پایه گرافیت را فشرده، صاف و غیر متخلخل، مقاوم در برابر حرارت، یکنواختی حرارتی، مقاوم در برابر خوردگی و مقاوم در برابر اکسیداسیون می کنند.

فن آوری پوشش SiC به ویژه در رشد حامل های همپای ال ای دی و اپیتاکسی تک کریستال Si کاربرد گسترده ای پیدا کرده است. با رشد سریع صنعت نیمه هادی، تقاضا برای فناوری و محصولات پوشش SiC به طور قابل توجهی افزایش یافته است. محصولات پوشش SiC ما طیف گسترده ای از کاربردها را در صنایع هوافضا، صنعت فتوولتائیک، انرژی هسته ای، راه آهن پرسرعت، خودروسازی و سایر صنایع دارند.

کاربرد محصول

اپیتاکسی آی سی LED

اپیتاکسی سیلیکونی تک کریستالی

حامل های ویفر RTP/TRA

حکاکی ICP/PSS

اچ پلاسما

اپیتاکسی SiC

اپیتاکسی سیلیکونی تک کریستالی

اپیتاکسی GaN با پایه سیلیکونی

اپیتاکسی عمیق UV

اچینگ نیمه هادی

صنعت فتوولتائیک

سیستم CVD همپای SiC

تجهیزات رشد فیلم اپیتاکسیال SiC

راکتور MOCVD

سیستم MOCVD

تجهیزات CVD

سیستم های PECVD

سیستم های LPE

سیستم های اکسترون

سیستم های نوفلار

سیستم های TEL CVD

سیستم های Vecco

سیستم های TSI