حامل Semicorex RTP با استفاده از فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD) با کاربید سیلیکون روکش شده است که برای RTA، RTP یا تمیز کردن شیمیایی خشن واقعا پایدار است. در هسته فرآیند نیمه هادی، گیرنده های اپیتاکسی، ابتدا در معرض محیط رسوب قرار می گیرند، بنابراین مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالایی دارند. حامل با پوشش SiC همچنین دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع حرارت عالی است.
● گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا
● مقاومت در برابر حرارت و مقاومت شیمیایی برتر
● یکنواختی حرارتی بالا
● مقاومت در برابر سایش عالی