صفحه حامل گرافیت RTP

صفحه حامل گرافیت RTP Semicorex راه حل مناسبی برای کاربردهای پردازش ویفر نیمه هادی، از جمله رشد همبستگی و پردازش ویفر است. محصول ما به گونه‌ای طراحی شده است که مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی عالی را ارائه دهد و اطمینان حاصل کند که گیرنده‌های اپیتاکسی در معرض محیط رسوب قرار می‌گیرند، با مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

محصول ما دارای گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا است که خواص توزیع حرارت عالی را ارائه می دهد و تضمین می کند که حامل پوشش داده شده با SiC سطحی صاف و عاری از ترک و لایه برداری دارد. صفحه حامل گرافیت RTP ما با روکش ریز سیلیکون کاربید است که از صاف بودن سطح و عاری از هرگونه نقص اطمینان می دهد. این محصول در برابر مواد شیمیایی خشن بسیار بادوام است و به گونه ای طراحی شده است که از ایجاد ترک و لایه برداری جلوگیری کند.
ما مزیت قیمتی را ارائه می دهیم که رقبای ما نمی توانند با آن مطابقت کنند، و متعهد هستیم که شریک بلندمدت شما در چین باشیم.
با صفحه حامل گرافیت RTP ما می توانید از عملکرد عالی، مقاومت حرارتی برتر و یکنواختی حرارتی اطمینان حاصل کنید. حامل با پوشش SiC برای مقاومت در برابر دماهای بالا طراحی شده است و در برابر تمیز کردن شیمیایی بسیار مقاوم است و تضمین می کند که برای چندین سال دوام می آورد. محصول ما همچنین به گونه ای طراحی شده است که استفاده از آن آسان باشد و آن را برای کاربران جدید و با تجربه ایده آل می کند.
در Semicorex، ما متعهد به ارائه محصولات و خدمات با کیفیت بالا به مشتریان خود هستیم. ما فقط از بهترین مواد استفاده می کنیم و محصولات ما برای مطابقت با بالاترین استانداردهای کیفیت و عملکرد طراحی شده اند. صفحه حامل گرافیت RTP ما نیز از این قاعده مستثنی نیست. امروز با ما تماس بگیرید تا درباره اینکه چگونه می توانیم به شما در رفع نیازهای پردازش ویفر نیمه هادی کمک کنیم بیشتر بیاموزید.

پارامترهای صفحه حامل گرافیت RTP

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز β FCC
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	میکرومتر	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
Heat Capacity	J kg-1 K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (4pt خم، 1300℃)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
هدایت حرارتی	(W/mK)	300

ویژگی های RTP Graphite Carrier Plate

گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا
مقاومت حرارتی برتر و یکنواختی حرارتی
کریستال SiC ریز پوشش داده شده برای سطح صاف
ماندگاری بالا در برابر تمیز کردن شیمیایی
مواد به گونه ای طراحی شده است که ترک و لایه لایه شدن رخ نمی دهد.