گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط یک فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد میشود.
کاربید تانتالم (TaC) ترکیبی است که از تانتالم و کربن تشکیل شده است. رسانایی الکتریکی فلزی و نقطه ذوب فوقالعاده بالایی دارد که آن را به یک ماده سرامیکی نسوز تبدیل میکند که به دلیل استحکام، سختی و مقاومت در برابر حرارت و سایش شناخته شده است. نقطه ذوب کاربیدهای تانتالم بسته به خلوص در حدود 3880 درجه سانتیگراد به اوج خود می رسد و یکی از بالاترین نقطه ذوب را در بین ترکیبات دوتایی دارد. این باعث می شود زمانی که تقاضاهای دمایی بالاتر از قابلیت های عملکرد مورد استفاده در فرآیندهای همپایه نیمه هادی های ترکیبی مانند MOCVD و LPE فراتر رود، آن را به یک جایگزین جذاب تبدیل می کند.
داده های مواد پوشش Semicorex TaC
|
پروژه ها |
پارامترها |
|
تراکم |
14.3 (gm/cm³) |
|
انتشار |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
سختی (HK) |
2000 |
|
مقاومت (اهم-سانتی متر) |
1×10-5 |
|
پایداری حرارتی |
<2500℃ |
|
تغییر ابعاد گرافیت |
-10~-20um (مقدار مرجع) |
|
ضخامت پوشش |
مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
|
|
|
|
موارد فوق مقادیر معمولی هستند |
|
حلقههای کاربید تانتالیوم متخلخل Semicorex اجزای نسوز با کارایی بالا هستند که به طور خاص برای فرآیند انتقال بخار فیزیکی (PVT) رشد کریستال کاربید سیلیکون (SiC) طراحی شدهاند و دارای ساختار متخلخل یکپارچه هستند که پایداری حرارتی استثنایی و نفوذپذیری گاز کنترلشده را ارائه میدهد.
ادامه مطلبارسال استعلامگیرندههای ویفر گرافیتی با پوشش Semicorex TaC اجزای پیشرفتهای هستند که معمولاً برای پشتیبانی و قرار دادن پایدار ویفرهای نیمهرسانا در طول فرآیندهای همپایی نیمهرسانای پیشرفته استفاده میشوند. Semicorex با بهرهگیری از فناوریهای پیشرفته تولید و تجربه تولید بالغ، متعهد است که گیرندههای ویفر گرافیتی با پوشش TaC با مهندسی سفارشی را با کیفیت پیشرو در بازار برای مشتریان ارزشمند خود عرضه کند.
ادامه مطلبارسال استعلامگیرنده های پوشش دار Semicorex CVD TaC گیرنده های گرافیت با عملکرد بالا با پوشش TaC متراکم هستند که برای ارائه یکنواختی حرارتی عالی و مقاومت در برابر خوردگی برای فرآیندهای رشد همپایه SiC طراحی شده اند. Semicorex فناوری پوشش پیشرفته CVD را با کنترل کیفیت دقیق ترکیب میکند تا گیرندههای بادوام و کم آلودگی مورد اعتماد تولیدکنندگان جهانی SiC epi را فراهم کند.*
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه های راهنما با پوشش کاربید تانتالیوم Semicorex اجزای حلقه ای با عملکرد بالا هستند که در تجهیزات رشد کریستال نیمه هادی استفاده می شوند. آنها به طور خاص برای ایجاد یک گرادیان دمایی مناسب و محیط جریان هوای پایدار در طول رشد کریستال طراحی شدهاند. با انتخاب حلقه های راهنما با روکش کاربید تانتالیوم Semicorex از تکنولوژی پوشش بی نظیر و تجربه تولید بسیار کارآمد و پایدار بهره مند خواهید شد.
ادامه مطلبارسال استعلامبوته گرافیتی پوشش دار Semicorex TaC توسط گرافیت پوششی کاربید تانتالیوم از طریق روش CVD ساخته می شود که مناسب ترین ماده مورد استفاده در فرآیند ساخت نیمه هادی است. Semicorex شرکتی است که به طور مداوم در پوشش سرامیکی CVD تخصص دارد و بهترین راه حل های مواد را در صنعت نیمه هادی ارائه می دهد.*
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex TaC Coated Components in Epitaxial Growth یک قطعه ماشینکاری گرانبها است که در ورودی هوا در فرآیند همپایی در نیمه هادی قرار دارد. Semicorex یک شرکت درجه یک است که در فناوری پوشش CVD TaC در چین تخصص دارد و محصولات را در سراسر جهان صادر می کند.*
ادامه مطلبارسال استعلام