گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز از کاربید تانتالیوم توسط یک فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد می شود.
کاربید تانتالیوم (TaC) ترکیبی است که از تانتالم و کربن تشکیل شده است. رسانایی الکتریکی فلزی و نقطه ذوب فوقالعاده بالایی دارد که آن را به یک ماده سرامیکی نسوز تبدیل میکند که به دلیل استحکام، سختی و مقاومت در برابر حرارت و سایش شناخته شده است. نقطه ذوب کاربیدهای تانتالم بسته به خلوص در حدود 3880 درجه سانتیگراد به اوج خود می رسد و یکی از بالاترین نقطه ذوب را در بین ترکیبات دوتایی دارد. این باعث می شود زمانی که تقاضاهای دمایی بالاتر از قابلیت های عملکرد مورد استفاده در فرآیندهای همپایه نیمه هادی های ترکیبی مانند MOCVD و LPE فراتر رود، آن را به یک جایگزین جذاب تبدیل می کند.
داده های مواد پوشش Semicorex TaC
پروژه ها |
مولفه های |
تراکم |
14.3 (gm/cm³) |
انتشار |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
سختی (HK) |
2000 |
مقاومت (اهم-سانتی متر) |
1×10-5 |
پایداری حرارتی |
<2500 |
تغییر ابعاد گرافیت |
-10~-20um (مقدار مرجع) |
ضخامت پوشش |
¥20um مقدار معمولی (35um±10um) |
|
|
موارد فوق مقادیر معمولی هستند |
|
گیره گرافیتی با پوشش TaC پیشرفته Semicorex، یک جزء انقلابی طراحی شده برای بالا بردن فرآیند اپیتاکسیال ویفر شما به ارتفاعات جدیدی از کارایی و دقت. Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor که با تخصص بینظیر و با بهرهگیری از فنآوریهای پیشرفته ساخته شده است، برای پاسخگویی به نیازهای دقیق تولید نیمهرساناها مهندسی شده است.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex قطعات گرافیتی با پوشش کاربید تانتالم با کیفیت بالا را با خدمات سفارشی ارائه می دهد. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex گیره گرافیت با پوشش کاربید تانتالم را با خدمات سفارشی ارائه می دهد. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامگرافیت متخلخل با پوشش TaC Semicorex، یک ماده پیشرفته با خلوص بالا در پردازش نیمه هادی است. این قطعه حیاتی از تجهیزات نقشی اساسی در روند رشد SiC تک کریستالی ایفا می کند. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامبه عنوان تولید کننده حرفه ای، ما می خواهیم حلقه های با پوشش TaC را به شما ارائه دهیم. معرفی حلقه پوشش دار CVD Tac، راه حلی پیشرفته برای تجهیزات نیمه هادی. این محصول پیشرفته دارای پوشش پیشرفته رسوب بخار شیمیایی (CVD) است که دوام و مقاومت استثنایی در برابر سایش و پارگی را فراهم می کند.
ادامه مطلبارسال استعلاممعرفی بوته پوشش دار CVD Tac، راه حلی عالی برای سازندگان تجهیزات نیمه هادی و کاربرانی که بالاترین سطح کیفیت و عملکرد را می طلبند. بوته های ما با یک لایه پیشرفته CVD Tac (کاربید تانتالم) پوشیده شده اند که مقاومت بالایی در برابر خوردگی و سایش ایجاد می کند و آنها را برای استفاده در انواع کاربردهای نیمه هادی ایده آل می کند.
ادامه مطلبارسال استعلام