آنیل حرارتی سریع (به اختصار RTA یا RTP) یک فناوری پردازش حرارتی سریع در تولید نیمه هادی است. اصل اصلی آن گرم کردن سریع سطح ویفر با استفاده از یک منبع گرمای تابشی با شدت بالا (مانند لامپهای هالوژن، لیزر، لامپهای فلاش و غیره)، گرم کردن ویفر تا دمای بالای هدف در مدت زمان بسیار کوتاه (ثانیه یا میلیثا......
ادامه مطلبصنعت نیمه هادی نسل سوم در حال توسعه سریع ظرفیت است. فرآیندهای اپیتاکسی کاربید سیلیکون (SiC) و نیترید گالیوم (GaN) به سمت محیطهای عملیاتی با دمای بالا، مواد خام با خلوص فوقالعاده بالا و دستگاههای تراشه کوچک تکامل مییابند. با این وجود، گیرندههای گرافیت بدون پوشش معمولی که در معرض شرایط کاری سخت ب......
ادامه مطلبدر تولید نیمه هادی، اکسیداسیون شامل قرار دادن ویفر در محیطی با دمای بالا است که در آن اکسیژن در سراسر سطح ویفر جریان می یابد و یک لایه اکسید تشکیل می دهد. این کار از ویفر در برابر ناخالصی های شیمیایی محافظت می کند، از ورود جریان نشتی به مدار جلوگیری می کند، از انتشار در حین کاشت یون جلوگیری می کند و......
ادامه مطلبSemicorex گیرههای ویفر گرافیتی با پوشش TaC پیشرفته را ارائه میکند که برای فرآیندهای نیمهرسانای سخت که به پایداری حرارتی عالی، مقاومت شیمیایی و عملکرد دقیق پشتیبانی ویفر نیاز دارند، طراحی شدهاند. همانطور که تولید کنندگان نیمه هادی به توسعه دستگاه های نسل بعدی ادامه می دهند، این راه حل های پیشرفته......
ادامه مطلبحلقه های فوکوس قطعات حلقوی دقیقی هستند که معمولاً در اطراف ویفر چاک تجهیزات اچینگ پلاسما نصب می شوند و در طول فرآیند اچینگ مستقیماً در معرض پلاسمای پر انرژی قرار می گیرند. عملکرد اصلی آنها این است که به عنوان قطعات قربانی عمل کنند تا نتایج حکاکی یکنواخت را در سراسر سطح ویفر تضمین کنند. به دلیل اثر ل......
ادامه مطلباز آنجا که پیوندهای اصلی ضروری در تولید نیمه هادی ها، پایداری و دقت فناوری نگهداری ویفر به طور مستقیم بر راندمان تولید تراشه و کیفیت دستگاه نهایی تأثیر می گذارد. چاک های خلاء و چاک های الکترواستاتیک دو راه حل اصلی نگهداری ویفر برای تولید نیمه هادی هستند. اگرچه هر دو متعلق به ویفر چاک هستند، اما در س......
ادامه مطلب