حلقه فوکوس یا حلقه های لبه برای بهبود یکنواختی اچ در اطراف لبه ویفر یا محیط طراحی شده اند.
حلقههای فوکوس Semicorex با پوشش کاربید سیلیکون با استفاده از رسوب بخار شیمیایی (CVD) مقاومت بالایی در برابر حرارت، حتی یکنواختی حرارتی برای ضخامت و مقاومت لایه epi ثابت و مقاومت شیمیایی بادوام ارائه میدهند که برای مقاومت در برابر محیطهای شدید در فرآیند اچ پلاسما یا حکاکی خشک ساخته شدهاند. .
حلقه فوکوس Semicorex SiC یک جزء حلقه کاربید سیلیکون با خلوص بالا است که برای بهینه سازی توزیع پلاسما و یکنواختی فرآیند ویفر در تولید نیمه هادی طراحی شده است. انتخاب Semicorex به معنای اطمینان از کیفیت ثابت، مهندسی مواد پیشرفته و عملکرد قابل اعتماد است که مورد اعتماد کارخانههای نیمهرسانای پیشرو در سراسر جهان است.*
ادامه مطلبارسال استعلام