حامل اچ PSS (Sapphire Substrate) در ساخت دستگاه های LED استفاده می شود. حامل اچینگ PSS به عنوان بستری برای رشد یک لایه نازک از نیترید گالیوم (GaN) عمل می کند که ساختار LED را تشکیل می دهد و سپس فرآیند اچ را تجربه می کند. بنابراین به موادی با مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا نیاز دارد. حامل اچینگ PSS با پوشش Semicorex SiC که به طور خاص برای این کاربردهای تجهیزات اپیتاکسی سخت مهندسی شده است. حامل کاربید سیلیکون با استفاده از روش CVD پوشش داده شده است، همچنین دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع حرارت عالی است.