PSS Handling Carrier برای انتقال ویفر

حامل PSS هندلینگ Semicorex برای انتقال ویفر برای سخت‌ترین کاربردهای تجهیزات اپیتاکسی مهندسی شده است. حامل گرافیت فوق‌العاده خالص ما می‌تواند در محیط‌های خشن، دمای بالا و تمیز کردن شیمیایی خشن مقاومت کند. حامل با پوشش SiC دارای خواص توزیع حرارت عالی، هدایت حرارتی بالا و مقرون به صرفه است. محصولات ما به طور گسترده در بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا مورد استفاده قرار می گیرند و ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک بلندمدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

حامل PSS برای انتقال ویفر از Semicorex برای برآورده کردن الزامات تمیز کردن شیمیایی در دمای بالا و سخت برای رشد همپایی و فرآیندهای جابجایی ویفر طراحی شده است. حامل گرافیت فوق‌العاده خالص ما برای مراحل رسوب لایه نازک مانند MOCVD، گیرنده‌های اپیتاکسی، پلت‌فرم‌های پنکیک یا ماهواره‌ای و پردازش ویفر مانند اچینگ ایده‌آل است. حامل با پوشش SiC دارای خواص توزیع حرارت عالی، هدایت حرارتی بالا و مقرون به صرفه است.

امروز با ما تماس بگیرید تا در مورد حامل حمل و نقل PSS ما برای انتقال ویفر بیشتر بدانید.

پارامترهای PSS Handling Carrier برای انتقال ویفر

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز β FCC
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	میکرومتر	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت حرارتی	J kg-1 K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (4pt خم، 1300℃)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
هدایت حرارتی	(W/mK)	300