حامل اچینگ PSS با پوشش SiC

حامل های ویفر که در رشد اپیکسیال و پردازش ویفر استفاده می شوند باید دماهای بالا و تمیز کردن شیمیایی سخت را تحمل کنند. Semicorex SiC Coated PSS Etching Carrier به طور خاص برای این کاربردهای تجهیزات اپیتاکسی سخت مهندسی شده است. محصولات ما مزیت قیمت خوبی دارند و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهند. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلندمدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

Semicorex نه تنها برای مراحل رسوب لایه نازک مانند اپیتاکسی یا MOCVD، یا پردازش ویفر مانند اچینگ، حامل اچینگ PSS با پوشش SiC فوق‌العاده خالص را که برای پشتیبانی از ویفرها استفاده می‌شود، عرضه می‌کند. در اچ پلاسما یا اچ خشک، این تجهیزات، گیرنده های اپیتاکسی، سکوهای پنکیک یا ماهواره ای برای MOCVD، ابتدا در معرض محیط رسوب قرار می گیرند، بنابراین مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالایی دارند. حامل اچینگ PSS با پوشش SiC همچنین دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع حرارت عالی است.

حامل های اچینگ PSS با پوشش SiC (زیر لایه یاقوت کبود) در ساخت دستگاه های LED (دیود ساطع کننده نور) استفاده می شود. حامل اچ PSS به عنوان بستری برای رشد یک لایه نازک از نیترید گالیوم (GaN) که ساختار LED را تشکیل می دهد، عمل می کند. سپس حامل اچ PSS با استفاده از فرآیند اچینگ مرطوب از ساختار LED خارج می شود و سطحی طرح دار باقی می ماند که کارایی استخراج نور LED را افزایش می دهد.

پارامترهای حامل اچینگ PSS با پوشش SiC

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC
ویژگی های SiC-CVD
ساختار کریستالی	فاز FCC Î²
تراکم	g/cm³	3.21
سختی	سختی ویکرز	2500
اندازه دانه	¼ دقیقه	2 تا 10
خلوص شیمیایی	%	99.99995
ظرفیت گرمایی	J·kg-1 ·K-1	640
دمای تصعید	℃	2700
قدرت فلکسورال	MPa (RT 4 نقطه ای)	415
مدول یانگ	Gpa (خم 4pt، 1300)	430
انبساط حرارتی (C.T.E)	10-6K-1	4.5
رسانایی گرمایی	(W/mK)	300

ویژگی های حامل اچینگ PSS با پوشش SiC با خلوص بالا

- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده داشته باشند.

- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.

- کاهش اختلاف ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثری استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.

- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.

- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.