نگهدارنده اچینگ Semicorex's Etching Carrier برای PSS Etching برای سخت ترین کاربردهای تجهیزات epitaxy مهندسی شده است. حامل گرافیت فوقالعاده خالص ما میتواند در محیطهای خشن، دمای بالا و تمیز کردن شیمیایی خشن مقاومت کند. حامل با پوشش SiC دارای خواص توزیع حرارت عالی، هدایت حرارتی بالا و مقرون به صرفه است. محصولات ما به طور گسترده در بسیاری از بازارهای اروپایی و آمریکایی مورد استفاده قرار می گیرند و ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
در Semicorex، ما نگهدارنده اچینگ را برای PSS Etching بهویژه برای محیطهای خشن مورد نیاز برای رشد همپایه و فرآیندهای جابجایی ویفر طراحی کردهایم. حامل گرافیت فوقالعاده خالص ما برای مراحل رسوب لایه نازک مانند MOCVD، گیرندههای اپیتاکسی، پلتفرمهای پنکیک یا ماهوارهای، و پردازش پردازش ویفر مانند اچینگ ایدهآل است. حامل با پوشش SiC دارای مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا، خواص توزیع حرارت عالی و هدایت حرارتی بالا است. محصولات ما مقرون به صرفه هستند و مزیت قیمت خوبی را ارائه می دهند.
امروز با ما تماس بگیرید تا در مورد نگهدارنده اچینگ برای اچینگ PSS بیشتر بدانید.
پارامترهای نگهدارنده حامل اچینگ برای اچینگ PSS
مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC |
||
ویژگی های SiC-CVD |
||
ساختار کریستالی |
فاز β FCC |
|
تراکم |
g/cm³ |
3.21 |
سختی |
سختی ویکرز |
2500 |
اندازه دانه |
میکرومتر |
2 تا 10 |
خلوص شیمیایی |
% |
99.99995 |
ظرفیت حرارتی |
J kg-1 K-1 |
640 |
دمای تصعید |
℃ |
2700 |
قدرت فلکسورال |
MPa (RT 4 نقطه ای) |
415 |
مدول یانگ |
Gpa (4pt خم، 1300℃) |
430 |
انبساط حرارتی (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
هدایت حرارتی |
(W/mK) |
300 |
ویژگی های Etching Carrier Holder برای PSS Etching
- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید
مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد
خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.
مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.
مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.
- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام
- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی
- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید