درپوش های محفظه برای ایجاد یک محیط تمیز، بی اثر و محافظت شده در اتاقک های رسوب استفاده می شود، بنابراین در طی فرآیندهای رسوب یا اچ در معرض پلاسما و دمای بالا قرار می گیرند. درپوشهای محفظه Semicorex اجزای سرامیکی بادوامی هستند که توسط کاربید سیلیکون با استفاده از روش رسوب شیمیایی بخار (CVD) پوشش داده شدهاند و برای مقاومت در برابر این محیطهای چالشبرانگیز عالی هستند.