درپوش های محفظه برای ایجاد یک محیط تمیز، بی اثر و محافظت شده در اتاقک های رسوب استفاده می شود، بنابراین در طی فرآیندهای رسوب یا اچ در معرض پلاسما و دمای بالا قرار می گیرند. درپوشهای محفظه Semicorex اجزای سرامیکی بادوامی هستند که توسط کاربید سیلیکون با استفاده از روش رسوب شیمیایی بخار (CVD) پوشش داده شدهاند و برای مقاومت در برابر این محیطهای چالشبرانگیز عالی هستند.
درب Semicorex SIC یک مؤلفه کاربید سیلیکون با خلوص بالا است که برای محیط های پردازش نیمه هادی شدید ساخته شده است. انتخاب نیمه نیمه به معنای اطمینان از کیفیت مواد بی نظیر ، مهندسی دقیق و راه حل های سفارشی که توسط تولید کنندگان پیشرو نیمه هادی در سراسر جهان قابل اعتماد است.*
ادامه مطلبارسال استعلام