کوره رشد کریستال تجهیزات اصلی رشد کریستال های کاربید سیلیکون است. این شبیه به کوره رشد کریستالی کریستالی سنتی سیلیکون سنتی است. ساختار کوره خیلی پیچیده نیست. این ماده عمدتاً از بدنه کوره ، سیستم گرمایشی ، مکانیسم انتقال سیم پیچ ، سیستم دستیابی و اندازه گیری خلاء ، سیستم مسیر گاز ، سیستم خنک کننده ، ......
ادامه مطلب