چین سر دوش تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه

سر دوش SiC (کاربید سیلیکون) یک جزء تخصصی است که در فرآیندهای مختلف صنعتی، به ویژه در صنعت ساخت نیمه هادی استفاده می شود. این برای توزیع و تحویل گازهای فرآیند به طور یکنواخت و دقیق در طول رسوب بخار شیمیایی (CVD) و فرآیندهای رشد همپایه طراحی شده است.

سر دوش مانند یک دیسک یا صفحه است که چندین سوراخ یا نازل به طور مساوی روی سطح آن توزیع شده است. این سوراخ ها به عنوان خروجی گازهای فرآیند عمل می کنند و به آنها اجازه می دهند به محفظه فرآیند یا محفظه واکنش تزریق شوند. اندازه، شکل و توزیع سوراخ ها می تواند بسته به کاربرد خاص و نیازهای فرآیند متفاوت باشد.

یکی از مزایای کلیدی استفاده از سر دوش SiC هدایت حرارتی عالی آن است. این ویژگی انتقال حرارت کارآمد و توزیع یکنواخت دما را در سرتاسر سطح سر دوش ممکن می‌سازد، از ایجاد نقاط داغ جلوگیری می‌کند و شرایط فرآیند ثابت را تضمین می‌کند. رسانایی حرارتی افزایش یافته همچنین باعث خنک شدن سریع سر دوش پس از فرآیند می شود و زمان خرابی را به حداقل می رساند و بهره وری کلی را افزایش می دهد.

سر دوش های SiC بسیار بادوام و مقاوم در برابر سایش و پارگی هستند، حتی در صورت قرار گرفتن طولانی مدت در معرض گازهای خورنده و دمای بالا. این طول عمر به فواصل طولانی مدت تعمیر و نگهداری و کاهش زمان خرابی تجهیزات منجر می شود که منجر به صرفه جویی در هزینه و بهبود قابلیت اطمینان فرآیند می شود.

سر دوش‌های SiC علاوه بر استحکام، قابلیت‌های بسیار خوبی برای توزیع گاز دارند. الگوهای سوراخ و پیکربندی دقیق مهندسی شده جریان و توزیع گاز یکنواخت را در سطح زیرلایه تضمین می کند و باعث رسوب ثابت فیلم و بهبود عملکرد دستگاه می شود. توزیع یکنواخت گاز همچنین به به حداقل رساندن تغییرات در ضخامت لایه، ترکیب و سایر پارامترهای مهم کمک می کند و به بهبود کنترل فرآیند و بازده کمک می کند.

Semicorex یک سر دوش نیمه هادی سیلیکون کاربید متخلخل با مقاومت کم را ارائه می دهد.  ما توانایی مهندسی سفارشی و عرضه مواد سرامیکی پیشرفته را با استفاده از انواع قابلیت های منحصر به فرد داریم.