در طول پردازش، ویفرهای نیمه هادی باید در کوره های تخصصی گرم شوند. راکتور شامل لولههای دراز و استوانهای است که در آن ویفرها روی قایقهای ویفر در فاصلهای از پیش تعیینشده و مساوی قرار میگیرند. به منظور زنده ماندن در شرایط پردازش داخل محفظه، و به حداقل رساندن ضایعات ویفرها از تجهیزات پردازش، قایقهای ویفر و بسیاری از آنها. سایر دستگاه های مورد استفاده در پردازش ویفر از موادی مانند کاربید سیلیکون (SiC) ساخته می شوند.
قایقها که با دستهای از ویفرها برای پردازش بارگیری میشوند، روی پاروهای کنسولی بلند قرار میگیرند، که توسط آنها میتوانند به کورهها و راکتورهای لولهای وارد شده و از آنها خارج شوند. پاروها شامل یک بخش حامل صاف است که یک یا چند قایق روی آن قرار می گیرند و یک دسته بلند که در یک انتهای قسمت کریر صاف قرار گرفته است که می توان با آن پارو را حمل کرد.
استفاده از کاربید سیلیکون تبلور مجدد با لایه نازک CVD SiC که خلوص بالا و بهترین انتخاب برای اجزای پردازش نیمه هادی است، استفاده از پدل کنتیولور توصیه می شود.
Semicorex می تواند خدمات سفارشی را با توجه به نقشه ها و محیط کاری ارائه دهد.
دست و پا زدن کنسول SiC با خلوص بالا Semicorex از سرامیک SiC با خلوص بالا ساخته شده است که بخشی ساختاری در کوره افقی در نیمه هادی است. Semicorex یک شرکت با تجربه برای تامین قطعات SiC در صنعت نیمه هادی است.*
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex SiC Seramic Paddle یک قطعه کنسول با خلوص بالا است که برای کوره های نیمه هادی با دمای بالا مهندسی شده است که عمدتاً در فرآیندهای اکسیداسیون و انتشار استفاده می شود. انتخاب Semicorex به معنای دسترسی به محلولهای سرامیکی پیشرفته است که پایداری، تمیزی و دوام استثنایی را برای برنامههای کاربردی مهم ویفر تضمین میکند.*
ادامه مطلبارسال استعلامپاروهای Semicorex SiC یک بازوی کنسول کاربید سیلیکونی با خلوص بالا هستند که برای حمل ویفر در کوره های اکسیداسیون و انتشار با دمای بالا بالای 1000 درجه سانتیگراد طراحی شده اند. انتخاب Semicorex به معنای اطمینان از کیفیت مواد استثنایی، مهندسی دقیق و قابلیت اطمینان طولانی مدت مورد اعتماد کارخانه های نیمه هادی پیشرو است.*
ادامه مطلبارسال استعلام