در طول پردازش، ویفرهای نیمه هادی باید در کوره های تخصصی گرم شوند. راکتور شامل لولههای دراز و استوانهای است که در آن ویفرها روی قایقهای ویفر در فاصلهای از پیش تعیینشده و مساوی قرار میگیرند. به منظور زنده ماندن در شرایط پردازش در محفظه، و به حداقل رساندن ضایعات ویفرها از تجهیزات پردازش، قایقهای ویفر و بسیاری از آنها. سایر دستگاه های مورد استفاده در پردازش ویفر از موادی مانند کاربید سیلیکون (SiC) ساخته می شوند.
قایقها که با دستهای از ویفرها برای پردازش بارگیری میشوند، روی پاروهای طویلدار قرار میگیرند، که توسط آنها میتوانند به کورههای لولهای و راکتورها وارد شوند و از آنها خارج شوند. پاروها شامل یک بخش حامل صاف است که یک یا چند قایق را میتوان روی آن قرار داد، و یک دسته بلند که در یک انتهای قسمت کریر صاف قرار گرفته است که میتوان با آن پارو را حمل کرد.
استفاده از کاربید سیلیکون تبلور مجدد با لایه نازک CVD SiC که خلوص بالا و بهترین انتخاب برای اجزای پردازش نیمه هادی است، استفاده از دست و پاروی کنسول توصیه می شود.
Semicorex می تواند خدمات سفارشی را با توجه به نقشه ها و محیط کاری ارائه دهد.
Semicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle یک جزء حیاتی است که در فرآیندهای تولید نیمه هادی ها، به ویژه در کوره های انتشار یا LPCVD (تخلیه بخار شیمیایی با فشار کم) در طی فرآیندهایی مانند انتشار و RTP (پردازش حرارتی سریع) استفاده می شود. Paddle SiC Cantilever برای حمل ایمن ویفرهای نیمه هادی در لوله فرآیند در طی فرآیندهای مختلف با دمای بالا مانند انتشار و RTP است. این هدف حمایت و حمل ویفرها در لوله فرآیند این کوره ها است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامدست و پا زدن کنسول کاربید سیلیکون Semicorex یک جزء تخصصی است که در کوره ها برای کاربردهای مختلف پردازش حرارتی استفاده می شود. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامنیروی بارگذاری بزرگ ویفر، کاربید سیلیکون سرامیکی SiC، برای سیستم بارگیری و جابجایی خودکار ربات مناسب است زیرا دارای عملکرد پایدار، عدم تغییر شکل در دمای بالا و نیروی بارگذاری زیاد ویفر است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلام