پدال سرامیکی SiC

پارو سرامیکی Semicorex SiC یک قطعه پیشرفته است که برای کاربردهای کوره های نیمه هادی با دمای بالا مانند اکسیداسیون و انتشار ساخته شده است. پارو به عنوان تکیه گاه کنسول برای نگه داشتن و حرکت ویفرها در دمای بالا عمل می کند. پدال سرامیکی Semicorex SiC اجزای سرامیکی با خلوص و استحکام بالا را به فرآیندهای با دمای بالا می‌دهد که نیاز به قابلیت اطمینان، پایداری و عملکرد در طول فرآیند تولید دارند.

پاروها از خلوص بالا تولید می شوندکاربید سیلیکون (SiC)، به طور خاص برای مقاومت در برابر محیط های سخت حرارتی و شیمیایی فرآیند تولید نیمه هادی فرموله شده است. هنگامی که ویفرها از طریق اکسیداسیون و انتشار پردازش می شوند، ویفر در معرض دمای بیش از 1000 درجه سانتیگراد و همچنین گازهای واکنش پذیر مانند اکسیژن، بخار یا اتمسفرهای ناخالص قرار می گیرد. در این دماها، یکپارچگی ساختار به خلوص مواد بستگی دارد.

یکی دیگر از ویژگی های مهم پاروهای سرامیکی SiC عملکرد فوق العاده آنها در دماهای بالا است. به دلیل نقطه ذوب SiC 2700+C، پاروها در مواجهه با دمای بالا استحکام و پایداری مکانیکی خود را حفظ می‌کنند.

عملکردها در طول زمان خاصیت حرارتی تاب خوردگی و ترک خوردگی مواد را در طی چرخه های مکرر گرمایش و سرمایش محدود می کند و در عین حال عمر طولانی در محیط های تولید را فراهم می کند.

پردازش نیمه هادی ها نیازمند محیطی فوق العاده تمیز است زیرا حتی مقادیر کمی از ناخالصی ها می تواند بر عملکرد و رفتار دستگاه ها تأثیر بگذارد. مواد SiC مورد استفاده در پاروها دارای یک پوشش شیمیایی بخار (CVD) SiC است که خلوص فوق‌العاده مواد را ارتقا می‌دهد و در عین حال آلودگی فلزی را به حداقل می‌رساند. پدال سرامیکی SiC برای تمام طول عمر خود تمیز و پایدار می ماند. به عنوان تکیه گاه های کنسول، پاروها باید یک تکیه گاه مطمئن برای حامل های ویفر یا قایق ها در حین قرار دادن و خارج کردن از کوره ایجاد کنند. به دلیلSiCبه دلیل استحکام و استحکام ذاتی، آنها دارای خواص باربری خوب با حداقل انحراف هستند که برای جابجایی و تراز مناسب ویفر ضروری است. در کوره های اکسیداسیون و انتشار، اتمسفرهای خورنده می توانند مواد سنتی را در طول زمان مورد حمله قرار دهند و آنها را تخریب کنند، اما SiC توانایی حفظ پایداری شیمیایی خود را دارد و عمر قابل استفاده پارو را افزایش می دهد. این منجر به کاهش چشمگیر هزینه های تعمیر و نگهداری و تعویض می شود، زیرا پاروها تقریباً به همان اندازه نیازی به تعویض یا تعمیر ندارند.

علاوه بر عملکرد، انعطاف‌پذیری در سفارشی‌سازی پدل‌ها برای تجهیزات و فرآیندهای خاص وجود دارد. ابعاد، تلورانس ها و پرداخت سطح را می توان برای اطمینان از تناسب بین طرح های کوره و سایر سیستم های جابجایی ویفر، انعطاف پذیر ساخت. توانایی دستیابی به درجات بالایی از دقت ابعادی با ماشینکاری دقیق سرامیک، امکان تولید پاروها را برای مطابقت با هندسه های پیچیده فراهم می کند. این طیف وسیعی از ویژگی ها برای ارائه عملکرد بدون درز و ادغام آسان در خطوط تولید موجود در نظر گرفته شده است.

سرامیک SiCپاروها با ترکیبی از خلوص بالا، پایداری حرارتی، استحکام مکانیکی و مقاومت شیمیایی، مواد ضروری در فرآیندهای اکسیداسیون و انتشار نیمه هادی هستند. با ارائه یک پلت فرم پایدار و تمیز برای انتقال ویفر، آنها به طور مستقیم به بهبود عملکرد، ثبات فرآیند و کارایی کلی تولید کمک می کنند.