به عنوان تولید کننده حرفه ای، ما می خواهیم قطعات نیمه هادی را به شما ارائه دهیم. Semicorex شریک شما برای بهبود در پردازش نیمه هادی است. پوششهای کاربید سیلیکون ما متراکم، در دمای بالا و مقاوم در برابر مواد شیمیایی هستند که اغلب در کل چرخه تولید نیمههادیها از جمله پردازش ویفر و ویفر نیمهرسانا و ساخت نیمهرسانا استفاده میشوند.
اجزای پوشش داده شده SiC با خلوص بالا برای فرآیندهای نیمه هادی بسیار مهم هستند. پیشنهاد ما از مواد مصرفی گرافیت برای مناطق گرم رشد کریستال (هیترها، گیرندههای بوته، عایق)، تا اجزای گرافیت با دقت بالا برای تجهیزات پردازش ویفر، مانند گیرندههای گرافیت با روکش کاربید سیلیکون برای Epitaxy یا MOCVD را شامل میشود.
مزایای فرآیندهای نیمه هادی
مراحل رسوب لایه نازک مانند اپیتاکسی یا MOCVD، یا پردازش ویفر مانند اچ کردن یا کاشت یونی باید دماهای بالا و تمیز کردن شیمیایی سخت را تحمل کنند. Semicorex ساختار گرافیت روکش شده با کاربید سیلیکون (SiC) با خلوص بالا، مقاومت حرارتی عالی و مقاومت شیمیایی بادوام، حتی یکنواختی حرارتی برای ضخامت و مقاومت لایه epi را فراهم میکند.
درب محفظه →
درپوشهای محفظهای که در رشد کریستال و پردازش ویفر استفاده میشوند باید دماهای بالا و تمیز کردن شیمیایی سخت را تحمل کنند.
End Effector →
افکتور پایانی دست ربات است که ویفرهای نیمه هادی را بین موقعیت های تجهیزات پردازش ویفر و حامل ها حرکت می دهد.
حلقه های ورودی →
حلقه ورودی گاز با پوشش SiC توسط تجهیزات MOCVD رشد مرکب دارای مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالا است که در محیط شدید پایداری زیادی دارد.
حلقه فوکوس →
حلقه فوکوس با پوشش سیلیکون کاربید تامین می کند Semicorex برای تمیز کردن RTA، RTP یا مواد شیمیایی خشن واقعا پایدار است.
ویفر چاک →
ویفر وکیوم سرامیکی فوق تخت Semicorex از روکش SiC با خلوص بالا در فرآیند جابجایی ویفر استفاده می کند.
Chuck Grinding Edge Wafer Semicorex یک دیسک سرامیکی است که از آلومینای سفید با خلوص بالا ساخته شده است ، که برای سنگ زنی لبه ویفر در ساخت نیمه هادی طراحی شده است. انتخاب نیمکره از کیفیت مواد برتر ، مهندسی دقیق و عملکرد قابل اعتماد اطمینان می دهد که بیشترین محیط های پردازش ویفر را پشتیبانی می کند.*
ادامه مطلبارسال استعلامچاک های آلومینای متخلخل نیمه نیمه ، دستگاه خلاء آلومینا سیاه ریز با تخلخل 35-40 ٪ هستند که برای تهیه مکش یکنواخت و دست زدن به ویفر ایمن در ساخت نیمه هادی طراحی شده است. انتخاب نیم قطبی به معنای مهندسی سرامیک قابل اعتماد ، کیفیت برتر مواد و عملکرد مداوم است که از عملکرد و ثبات پردازش محافظت می کند.*
ادامه مطلبارسال استعلامچاک های خلاء Semicorex AL2O3 ، فیکس جذب سرامیکی ریز و درشت ساخته شده از آلومینای سیاه با تخلخل 35-40 ٪ هستند ، که به طور خاص برای کار با ویفر در برنامه های نیمه هادی طراحی شده است. انتخاب نیم قطبی به معنای بهره مندی از فناوری پیشرفته سرامیک ، مهندسی دقیق و کیفیت محصول قابل اعتماد است که عملکرد پایدار را در محیط های تمیز کننده تضمین می کند.*
ادامه مطلبارسال استعلامبازوی سرامیکی Alumina Semicorex یک مؤلفه رباتیک با خلوص بالا است که برای کار دقیق و بدون آلودگی ویفر در ساخت نیمه هادی طراحی شده است. انتخاب نیمورکس نه تنها کیفیت مواد سرامیکی پیشرفته آلومینا را تضمین می کند بلکه از ساخت و سازهای دقیق نیز اطمینان می دهد که دوام ، پاکیزگی و قابلیت اطمینان را در محیط های فرآیند بحرانی تضمین می کند.*
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه های ورودی Semicorex SIC اجزای کاربید سیلیکون با کارایی بالا برای تجهیزات پردازش نیمه هادی هستند و ثبات حرارتی استثنایی ، مقاومت شیمیایی و ماشینکاری دقیق را ارائه می دهند. انتخاب نیم قطبی به معنای دستیابی به راه حل های قابل اعتماد ، سفارشی و بدون آلودگی است که توسط تولید کنندگان پیشرو نیمه هادی قابل اعتماد است.*
ادامه مطلبارسال استعلامبازوی Semicorex SIC یک مؤلفه کاربید سیلیکون با خلوص بالا است که برای کنترل دقیق ویفر و موقعیت یابی در ساخت نیمه هادی طراحی شده است. انتخاب نیمه نیمه ، قابلیت اطمینان مواد بی نظیر ، مقاومت شیمیایی و مهندسی دقیق را که از خواستارترین فرآیندهای نیمه هادی پشتیبانی می کند ، تضمین می کند.*
ادامه مطلبارسال استعلام