اجزای نیمه ماه

Semicorex Half Moon کامپوننت‌ها ساختارهای راکتور داخلی نیمه استوانه‌ای یا بخش‌دار هستند که معمولاً در داخل راکتورهای اپیتاکسیال نصب می‌شوند. هندسه منحصر به فرد آنها به بهینه سازی توزیع گاز، مدیریت حرارتی، موقعیت یابی ویفر و محافظت از محفظه در طول فرآیندهای رشد همپایه کمک می کند.

محصول نشان داده شده دارای ساختار استوانه ای با ماشینکاری دقیق با هندسه پشتیبانی داخلی یکپارچه است که به طور خاص برای تناسب با پیکربندی های محفظه به سبک LPE طراحی شده است. این قطعات معمولاً از گرافیت با خلوص بالا ساخته می‌شوند و می‌توان آنها را با پوشش‌های پیشرفته کاربید سیلیکون CVD (SiC) برای بهبود دوام، خلوص و مقاومت شیمیایی محافظت کرد.

در راکتورهای اپیتاکسیال، پایداری و تمیزی اجزا به طور مستقیم بر یکنواختی فیلم، کیفیت کریستال و بازده ویفر تأثیر می گذارد. بنابراین، قطعات داخلی راکتور باید در برابر محیط های شیمیایی تهاجمی، چرخه حرارتی سریع و عملکرد طولانی مدت در دمای بالا بدون تغییر شکل یا آلودگی مقاومت کنند.

قطعات راکتور سازگار با محفظه های سبک LPE

Semicorex چندین قطعه راکتور سازگار با سیستم های همپای LPE تولید می کند، از جمله:

* قطعات نیمه ماه

* پوشش های محافظ

* قطعات راهنمای جریان

* قطعات پشتیبانی ویفر

* حلقه های محافظ

* مجموعه های گرافیت سفارشی

همه اجزا را می توان با توجه به ابعاد راکتور، شرایط فرآیند و الزامات طراحی خاص مشتری سفارشی کرد.

ویژگی های کلیدی اجزای نیمه ماه

مواد پایه گرافیت با خلوص بالا

اجزای راکتور با استفاده از چگالی بالا و خلوص بالا تولید می شوندمواد گرافیت ایزواستاتیکبه طور خاص برای کاربردهای نیمه هادی انتخاب شده است. محتوای ناخالصی کم به به حداقل رساندن خطرات آلودگی در طول فرآیندهای رشد اپیتاکسی کمک می کند.

مواد با خلوص بالا برای نگهداری ضروری هستند:

* رشد کریستال پایدار

* لایه های اپیتاکسیال یکنواخت

* تراکم نقص کم

* تمیزی درجه نیمه هادی

محافظت از پوشش پیشرفته SiC

برای محیط های فرآیندی سخت، بستر گرافیت را می توان با متراکم پوشش دادکاربید سیلیکون CVD. پوشش SiC یک لایه سطحی بسیار محافظ با چسبندگی عالی و پایداری شیمیایی تشکیل می دهد.

پوشش SiC فراهم می کند:

* مقاومت در برابر خوردگی برتر

* کاهش تولید ذرات

* بهبود مقاومت در برابر سایش

* افزایش مقاومت در برابر اکسیداسیون

* عمر طولانی تر

این پوشش همچنین از بستر گرافیت در برابر گازهای فرآیند و مواد شیمیایی تمیزکننده تهاجمی محافظت می کند.

پایداری حرارتی عالی

اجزای نیمه ماه در راکتورهای همپایه با دمای بالا کار می کنند که در آن قوام حرارتی بسیار مهم است. مواد گرافیت و SiC هدایت حرارتی عالی و مقاومت در برابر شوک حرارتی را ارائه می‌دهند و به حفظ شرایط محفظه پایدار در طول چرخه‌های گرمایش و سرمایش سریع کمک می‌کنند.

عملکرد حرارتی عالی به موارد زیر کمک می کند:

* توزیع یکنواخت دما

* کاهش استرس حرارتی

* تکرارپذیری فرآیند پایدار

* سازگاری لایه اپیتاکسیال بهبود یافته است

قابلیت ماشینکاری دقیق

Semicorex از ماشین‌کاری پیشرفته CNC و فناوری‌های ساخت دقیق برای دستیابی به تحمل‌های ابعادی فشرده و ساختارهای داخلی پیچیده استفاده می‌کند.

ماشینکاری دقیق تضمین می کند:

* نصب مناسب راکتور

* کنترل جریان گاز پایدار

* موقعیت ویفر قابل اعتماد

* عملکرد اتاق ثابت

هندسه های سفارشی پیچیده نیز می توانند با توجه به طرح های راکتور خاص تولید شوند.

مقاومت شیمیایی قوی

فرآیندهای اپیتاکسیال اغلب شامل گازهای خورنده و شرایط عملیاتی سخت هستند. اجزای راکتور پوشش داده شده با SiC مقاومت بسیار خوبی در برابر موارد زیر نشان می دهند:

*هیدروژن

* گازهای حاوی کلر

* مواد شیمیایی پاک کننده اسید

* اکسیداسیون در دمای بالا

این دوام شیمیایی به طور قابل توجهی طول عمر قطعات را افزایش می دهد و فرکانس نگهداری را کاهش می دهد.

کاربردها در سیستم های رشد همبستگی

اجزای نیمه ماه به طور گسترده در تجهیزات پردازش همپایی پیشرفته برای کاربردهای ساخت نیمه هادی استفاده می شود، از جمله:

* اپیتاکسی سیلیکونی

* رشد اپیتاکسیال SiC

* اپیتاکسی GaN

* تولید نیمه هادی های برق

* تولید ال ای دی

* پردازش ویفر پیشرفته

* سیستم های CVD با دمای بالا

در داخل محفظه راکتور، این اجزا به بهینه‌سازی دینامیک جریان گاز، حفظ یکنواختی فرآیند و محافظت از مناطق حساس محفظه از آسیب‌های حرارتی و شیمیایی کمک می‌کنند.

چرا Semicorex را انتخاب کنید؟

Semicorex بر راه حل های پیشرفته گرافیت و کاربید سیلیکون برای کاربردهای صنعتی نیمه هادی و دمای بالا تمرکز دارد. با تجربه گسترده در اجزای راکتور همپایی، ما محصولات مهندسی دقیقی را ارائه می دهیم که برای قابلیت اطمینان طولانی مدت و عملکرد درجه نیمه هادی طراحی شده اند.

مزایای ما عبارتند از:

* مواد اولیه با خلوص بالا

* تکنولوژی پیشرفته پوشش SiC

* قابلیت ماشینکاری دقیق

* پشتیبانی مهندسی سفارشی

* کنترل کیفیت دقیق

* قابلیت عرضه جهانی

Semicorex با ترکیب تخصص مواد پیشرفته با راه حل های تولید سفارشی، از مشتریان در سراسر جهان در دستیابی به فرآیندهای رشد همپایه پایدار و کارآمد برای فناوری های نیمه هادی نسل بعدی پشتیبانی می کند.