الکترودهای منحنی سیلیکونی

در طول تجهیزات پیشرفته اچ، الکترود منحنی سیلیکونی معمولاً در بالای محفظه اچینگ، رو به ویفر نیمه هادی نصب می شود. الکترود منحنی سیلیکونی معمولاً همراه با چاک الکترواستاتیک، حلقه فوکوس Si، حلقه لبه Si، حلقه اگزوز Si و حلقه محافظ Si عمل می‌کند تا شرایط عملیاتی بهینه را برای حکاکی با دقت بالا فراهم کند.

توابع الکترودهای منحنی سیلیکونی Semicorex

1. سازگار با حکاکی ساختار پیچیده 3D

Semicorex با قابلیت کنترل میدان الکتریکی سه بعدی استثناییالکترودهای منحنی سیلیکونیمی تواند کاملاً با ویژگی های هندسی سازه های پیچیده مطابقت داشته باشد. طراحی منحنی خاص کنترل دقیق پلاسما و توزیع بهینه انرژی را امکان پذیر می کند، که به طور قابل توجهی بر نسبت ابعاد و عمودی دیواره جانبی اچ کردن ساختار سه بعدی تأثیر می گذارد و به طور کامل نیازهای خط تولید فرآیندهای بسته بندی پیشرفته و یکپارچه سازی IC 3 بعدی را برآورده می کند.

2. کنترل دقیق توزیع گاز اچ

الکترودهای منحنی سیلیکونی Semicorex دارای چندین ریز سوراخ با توزیع یکنواخت روی سطح خود هستند تا گاز اچ وارد محفظه اچ شود. الکترودهای منحنی سیلیکونی Semicorex می توانند به کنترل دقیقی بر روی گاز اچ دست یابند و اجازه دهند که به طور یکنواخت در محفظه اچ توزیع شود، در نتیجه تغییرات فرآیند ناشی از توزیع غیر یکنواخت گاز را به حداقل می رساند.

مزایای الکترودهای منحنی سیلیکونی Semicorex

1. خلوص فوق العاده بالا

الکترودهای منحنی سیلیکونی Semicorex از تک کریستال با خلوص فوق العاده بالا ساخته شده اندسیلیکونبا سطح خلوص بالاتر از 99.9999999٪، ارائه مقاومت برتر در برابر فرسایش پلاسما. این انتخاب مواد با استاندارد بالا می تواند به طور موثر از آلودگی ناخواسته ناشی از اچ کردن محصولات جانبی جلوگیری کند و همچنین به طور قابل توجهی طول عمر الکترودهای منحنی سیلیکونی را افزایش دهد.

2. خواص الکتریکی عالی

الکترودهای منحنی سیلیکونی Semicorex که از سیلیکون تک کریستال رشد یافته در MCZ ساخته شده‌اند، یکنواختی مقاومت فوق‌العاده را نشان می‌دهند: 5% و محدوده مقاومت قابل انتخاب گسترده: رزولوشن پایین. (<0.02)، رز متوسط. (1-4)، و وضوح بالا. (70-90).

3. دقت پردازش دقیق

از طریق پردازش مکانیکی با دقت بالا، الکترودهای منحنی سیلیکونی Semicorex به اندازه منافذ ثابت و توزیع یکنواخت سوراخ دست می یابند. سطوح آنها به خوبی صیقل داده شده و آسیاب می شوند: پولیش (Ra <0.1 میکرومتر) و زمین (Ra <1.6 میکرومتر)، با دقت ماشینکاری کلی که در 0.03 میلی متر کنترل می شود.