قایق ویفر سیلیکونی

Semicorex می تواند ساختار قایق ویفر سیلیکونی را سفارشی کند، از جمله شکل میله شیار، طول دندان شیار، شکل، زاویه شیب و ظرفیت بارگیری کل ویفر، و می تواند بر اساس نیاز مشتری تولید شود. قایق های سیلیکونی با دمای بالا می توانند به طور موثر آسیب تماس به ویفرهای سیلیکونی را کاهش دهند و عملکرد فرآیند را بهبود بخشند. طراحی «برج‌های بدون لغزش» با دمای بالا از ویفرها فقط در نوک دندان نگهدارنده پشتیبانی می‌کند. در مقایسه باکاربید سیلیکونسیلیکون دارای سختی نسبتاً کمی است که آسیب مکانیکی به ویفرها را کاهش می دهد و در نتیجه سرعت عبور شبکه را بهبود می بخشد و به طور موثر هزینه های تولید را کاهش می دهد. قایق سیلیکونی ذوب شده از چند قسمت تشکیل شده است: دندانه ها، صفحه پایه و صفحه بالایی که با هم ذوب شده اند. این باعث کاهش هزینه های تولید می شود. در صورت آسیب جزئی، قطعات آسیب دیده را می توان بدون تعویض کل قایق سیلیکونی تعویض کرد و هزینه های مالکیت در طول استفاده را به میزان قابل توجهی کاهش داد. علاوه بر این، قایق سیلیکونی دارای حد بالایی برای رسوب پلی سیلیکون است که می تواند به طور موثر فرکانس تجهیزات PM را کاهش دهد و ظرفیت تولید را بهبود بخشد.

Semicorex Silicon Wafer Boat یک ویفر حامل نوآورانه و هدفمند است. این به طور خاص برای فرآوری کوره های با دمای بالا که در صنعت نیمه هادی ها استفاده می شود، از جمله فرآیندهای اکسیداسیون و کاهش در دماهای بین 1200 تا 1250 درجه سانتی گراد ایجاد شده است. قایق ویفر سیلیکون با مزایای عملکردی که در مواد کاربید سیلیکون (SiC) موجود نیست، مزایای مربوط به فرآیندهای دقیق مورد نیاز تولید نیمه هادی را ارائه می دهد. اول، خلوص فوق العاده بالای مواد سیلیکونی قابل توجه است. در واقع،مواد سیلیکونیبه سطوح خلوص فوق العاده بالای بیش از 9N (99.9999999%) دست می یابد، بنابراین اطمینان حاصل می شود که هیچ ناخالصی فلزی یا خارجی باعث آلودگی پردازش ویفر نمی شود. این برای تولید دستگاه های نیمه هادی پیشرو که در آن قابلیت اطمینان عملکرد و عملکرد به شدت تحت تاثیر آلودگی قرار می گیرد، بسیار مهم است. قایق ویفر سیلیکونی محیطی فوق العاده تمیز با سطح خلوص بالا مناسب برای پیشرفته ترین نیازهای صنعت برای جابجایی ویفرهای در معرض دماهای بسیار بالا برای پردازش اکسیداسیون و احیا فراهم می کند.

یکی دیگر از مزایایمواد سیلیکونیخواص سختی کمتر آن در مقایسه با مواد SiC است. میله‌ها یا قایق‌های SiC برای سختی و استحکام شناخته می‌شوند، اما همین ویژگی می‌تواند منجر به مشکلاتی در طول پردازش ویفر شود. در دماهای بالا، ویفرها میکرو حرکت می کنند. آنها در داخل قایق اندکی جهش می کنند، کمی جابجا می شوند و لبه ها تاب می یابند. یک ماده سخت‌تر و SiC می‌تواند خطرات بیشتری را برای ایجاد ذرات یا خراش در پشت ویفر ایجاد کند، زیرا خواص ویفر و قایق تحت این شرایط پردازش در دمای بالا با هم تعامل دارند.

قایق ویفر سیلیکون با بهره گیری از ویژگی نسبتا نرم سیلیکون در رابطه با SiC این نگرانی را کاهش می دهد. کاهش سختی امکان اصطکاک و تنش مکانیکی کمتر را در هنگام تماس ویفرها با قایق در طول چرخه های حرارتی فراهم می کند. در نتیجه، ذرات کمتر تولید می‌شوند و خطر خراش‌های پشتی تقریباً به صفر می‌رسد. علاوه بر این، با به حداقل رساندن عیوب سطح، قایق ویفر سیلیکونی به طور مستقیم کیفیت شبکه را بهبود می بخشد و نرخ کلی صلاحیت ویفرهای فرآوری شده را افزایش می دهد. برای کارخانه های نیمه هادی که به دنبال بهبود عملکرد با حداکثر کنترل کیفیت هستند، این وضعیت عملکرد، قایق سیلیکونی را به گزینه ای جذاب تبدیل می کند.

سیلیکون پایداری و استحکام مکانیکی خوبی را در دماهای بالا ارائه می‌کند و به قایق اجازه می‌دهد تا در طول چرخه‌های مکرر کوره به طور قابل اعتماد خدمت کند. این ماده در طول چرخه های گرمایش و سرمایش در برابر تاب خوردگی مقاومت می کند و بنابراین، تحمل دقیق ویفر و موقعیت یابی را حتی در چرخه های سریع کوره حفظ می کند. این استحکام حرارتی نتایج فرآیند قابل اعتمادی را ارائه می دهد که به اندازه کافی برای تولید حجم بالا با حداقل تغییرات بین اجراها سازگار است. قایق ویفر سیلیکونی با دقت ابعادی بالا ساخته شده است تا از موقعیت و قرارگیری ثابت ویفر اطمینان حاصل شود. این قایق با استفاده از ماشینکاری و پرداخت پیشرفته برای ایجاد سطوح صاف، هندسه نزدیک و تلرانس های تنگ ساخته شده است.