حلقه سپر سیلیکونی

حلقه سپر سیلیکونی Semicorex یک جزء نیمه هادی حیاتی در فرآیند اچ است. وظیفه اصلی آن احاطه کردن الکترود و جلوگیری از نشت بیش از حد پلاسما است. با خلوص مواد بیش از 9N (99.9999999%)، حلقه سپر را می توان هم توسط تک کریستال و هم چند کریستال ساخت.سیلیکونتضمین عملکرد فوق العاده تمیز و سازگاری قابل اعتماد با فرآیندهای پیشرفته تولید نیمه هادی.

کنترل دقیق پلاسما در فرآیند اچ CCP/ICP برای سرعت اچ موثر و یکنواخت و کیفیت ویفر ضروری است. نشت پلاسما کنترل نشده در خارج از ناحیه مورد نظر اچینگ می تواند فرسایش سطحی و آلودگی ایجاد کند یا به اجزای داخل محفظه آسیب برساند. حلقه محافظ سیلیکونی یک راه حل موثر و ساده برای این مشکل است که برای تشکیل یک مانع محافظ در محیط بیرونی الکترود ایجاد شده است، پلاسما را از پخش شدن در خارج از ناحیه هدف مهار می کند و اچ را فقط به ناحیه مورد نظر محدود می کند. حلقه محافظ سیلیکونی همچنین به عنوان یک الکترود بیرونی برای تثبیت توزیع پلاسما و ایجاد انرژی یکنواخت تر در سطح ویفر عمل می کند.

خواص حرارتی و الکتریکی سیلیکون بیشتر از عملکرد حلقه محافظ اچینگ پشتیبانی می کند. مقاومت آن در برابر دمای بالای فرآیند یکپارچگی ساختاری را در طول قرار گرفتن طولانی مدت در معرض پلاسما فراهم می کند و رسانایی الکتریکی آن به قطعه اجازه می دهد تا به عنوان یک عنصر در سیستم الکترود به درستی عمل کند. این برنامه‌ها با هم، محصور شدن پلاسما را بهبود می‌بخشند و یکنواختی انرژی را بهبود می‌بخشند، که اجازه می‌دهد پروفایل‌های اچ قابل تکرار در سراسر ویفرها وجود داشته باشد.

تحمل مکانیکی یکی دیگر از ویژگی های قابل توجه حلقه محافظ سیلیکونی است. با تولید با تلورانس های محکم، موقعیت دقیق اطراف الکترود را تضمین می کند و فاصله و هندسه محفظه را حفظ می کند. این دقت مکانیکی شرایط فرآیند قابل تکرار را برای تنوع کمتر بین اجراهای جداگانه ایجاد می کند و به تولید نیمه هادی با حجم بالا کمک می کند. خود ماده سازگاری عالی با محیط های پلاسما دارد. بنابراین فرسایش ساختار آن به آن اجازه می دهد تا به طور معمول عمر طولانی و پایداری در عملکرد فرآیند را فراهم کند.

دوام و مقرون به صرفه بودن دو مزیت ارزشمند دیگر هستند. با محافظت از بخش‌های غیر ضروری محفظه از پلاسما، حلقه محافظ سایش سایر اجزای حیاتی را کاهش می‌دهد که تلاش‌های تعمیر و نگهداری را کاهش می‌دهد و زمان عملیاتی کلی را افزایش می‌دهد. عمر طولانی و جایگزینی کمتر آن را به یک راه حل مقرون به صرفه برای فابریک های نیمه هادی برای افزایش بهره وری و در نتیجه کاهش هزینه های عملیاتی تبدیل می کند.

اینسیلیکونخواص حرارتی و الکتریکی سیلیکون بیشتر از عملکرد حلقه محافظ اچینگ پشتیبانی می کند. مقاومت آن در برابر دمای بالای فرآیند یکپارچگی ساختاری را در طول قرار گرفتن طولانی مدت در معرض پلاسما فراهم می کند و رسانایی الکتریکی آن به قطعه اجازه می دهد تا به عنوان یک عنصر در سیستم الکترود به درستی عمل کند. این برنامه‌ها با هم، محصور شدن پلاسما را بهبود می‌بخشند و یکنواختی انرژی را بهبود می‌بخشند، که اجازه می‌دهد پروفایل‌های اچ قابل تکرار در سراسر ویفرها وجود داشته باشد.