حلقه های بیرونی پلی سی برای حکاکی

به طور معمول در اطراف قرار گرفته استسر دوشحلقه بیرونی Poly-Si به عنوان بخش اتصال بین حلقه اگزوز و سر دوش عمل می کند. با همکاری همکاری می کندچاک الکترواستاتیکسر دوش Si، حلقه فوکوس Si، حلقه اگزوز Si، و حلقه محافظ Si، یک محیط فرآیندی ثابت و قابل اعتماد برای عملیات اچ کردن با دقت بالا ایجاد می کند.

مزایای حلقه های بیرونی Semicorex poly-Si برای اچینگ

حلقه های بیرونی Semicorex poly-Si برای اچینگ دقیقاً از پلی سیلیکون با کیفیت بالا ساخته شده اند و عملکرد عالی زیر را ارائه می دهند.

1. تمیزی بالا و محتوای ذرات کم

2. مقاومت در برابر درجه حرارت بالا و مقاومت در برابر شوک حرارتی بالا

3.مقاومت در برابر خوردگی قابل اعتماد

4. عملکرد الکتریکی استثنایی و یکنواختی هدایت الکتریکی بالا

عملکرد حلقه های بیرونی Semicorex poly-Si برای اچ کردن

1. عملکرد زمین پایدار

حلقه های بیرونی Semicorex poly-Si برای حکاکی که برای اتصال به زمین و حفاظت الکترود استفاده می شود، قادر به جلوگیری از تجمع استاتیکی و همچنین آسیب قوس است و عملکرد پایدار سیستم الکترود را تضمین می کند و کاملاً نیازهای فرآیند را برای ساخت پیشرفته 3D NAND برآورده می کند.

2. پشتیبانی قابل اعتماد

حلقه های بیرونی Semicorex poly-Si برای اچ کردن به عنوان اجزای ضروری حلقه اگزوز و سر دوش را به هم متصل می کنند. آنها پشتیبانی مکانیکی قابل اعتمادی را برای هر دو قسمت ارائه می دهند و آنها را به طور پیوسته در محل مناسب قرار می دهند. علاوه بر این، استفاده از حلقه های بیرونی Semicorex poly-Si برای اچینگ می تواند از فرسایش پلاسما در محفظه اچینگ جلوگیری کند که در نتیجه به طور موثر اجرای پایدار عملیات اچ را تضمین می کند.

3. سازگاری با فرآیند اچینگ

حلقه های بیرونی Semicorex poly-Si برای اچ کردن دارای محتوای ناخالصی کم و مقاومت در برابر خوردگی استثنایی هستند که سازگاری عالی با ساخت ویفرهای سیلیکونی ارائه می دهند که به میزان زیادی عیوب ویفر ناشی از آلودگی محصول فرعی حکاکی شده را کاهش می دهد و نرخ بازده بالا را در تولید نیمه هادی تضمین می کند.