رشد کریستال حلقه اصلی در تولید بسترهای کاربید سیلیکون است و تجهیزات هسته کوره رشد کریستال است. مشابه کورههای رشد کریستالی با درجه سیلیکون کریستالی، ساختار کوره چندان پیچیده نیست و عمدتاً از بدنه کوره، سیستم گرمایش، مکانیزم انتقال سیم پیچ، سیستم اندازهگیری و جذب خلاء، سیستم مسیر گاز، سیستم خنککنند......
ادامه مطلبنسل سوم مواد نیمه هادی با گپ گسترده، مانند نیترید گالیوم (GaN) و کاربید سیلیکون (SiC)، به دلیل تبدیل نوری الکترونیکی استثنایی و قابلیت های انتقال سیگنال مایکروویو مشهور هستند. این مواد نیازهای مورد نیاز دستگاه های الکترونیکی با فرکانس بالا، دمای بالا، توان بالا و مقاوم در برابر تشعشع را برآورده می ک......
ادامه مطلبقایق SiC که مخفف قایق کاربید سیلیکون است، یک لوازم جانبی مقاوم در برابر دمای بالا است که در لولههای کوره برای حمل ویفرها در طول پردازش در دمای بالا استفاده میشود. با توجه به خواص برجسته کاربید سیلیکون مانند مقاومت در برابر دماهای بالا، خوردگی شیمیایی و پایداری حرارتی عالی، قایقهای SiC به طور گستر......
ادامه مطلبدر حال حاضر، اکثر تولیدکنندگان بستر SiC از طراحی فرآیند میدان حرارتی بوتهای جدید با سیلندرهای گرافیتی متخلخل استفاده میکنند: قرار دادن مواد خام ذرات SiC با خلوص بالا بین دیواره بوته گرافیتی و سیلندر گرافیتی متخلخل، در عین حال عمیقتر کردن کل بوته و افزایش قطر بوته.
ادامه مطلبرسوب بخار شیمیایی (CVD) به فناوری فرآیندی اشاره دارد که در آن واکنشدهندههای گازی متعدد در فشارهای جزئی متفاوت تحت یک واکنش شیمیایی تحت شرایط دما و فشار خاص قرار میگیرند. ماده جامد حاصل بر روی سطح ماده بستر رسوب می کند و در نتیجه لایه نازک مورد نظر به دست می آید. در فرآیندهای تولید مدار مجتمع سنتی......
ادامه مطلبدر زمینه های الکترونیک مدرن، اپتوالکترونیک، میکروالکترونیک و فناوری اطلاعات، بسترهای نیمه هادی و فناوری های همپایی ضروری هستند. آنها پایه محکمی برای ساخت دستگاه های نیمه هادی با کارایی بالا و با قابلیت اطمینان بالا فراهم می کنند. با ادامه پیشرفت فناوری، بسترهای نیمه هادی و فناوری های همپایی نیز پیشر......
ادامه مطلب