درگاه

درب Semicorex SIC یک بخش حیاتی است که به طور خاص برای پردازش نیمه هادی طراحی شده است. این برنامه برای سخت ترین محیط ها در اپیتاکس ، کاشت یونی و برنامه های درجه حرارت بالا طراحی شده است. این گیاه از کاربید سیلیکون فوق العاده خاکستری ساخته شده است که دارای خاصیت مواد بسیار پایدار و دقت مهندسی شده است. قوام طولانی مدت ، دوام و پاکیزگی دلایل اصلی برای انتخاب درب Semicorex SIC برای استفاده در فرآیندهای ساخت نیمه هادی پیشرفته است.

کاربید سیلیکون (SIC)دارای طیف وسیعی از خصوصیات است که در مقایسه با سرامیک سنتی یا مواد فلزی منحصر به فرد است. یکی از مهمترین مزایای SIC مقاومت آن در برابر درجه حرارت بالا است. SIC می تواند یکپارچگی ساختاری و ثبات مکانیکی خود را حفظ کند - برای مدت طولانی حتی در دمای بالا. این امر باعث می شود SIC برای فرآیندی مانند رسوب بخار شیمیایی (CVD) اپی توپکسی یا کاشت یون با انرژی بالا ایده آل شود. فلزات و پلاستیک ها در دمای شدید تغییر شکل داده ، اکسید یا آلوده می شوند ، در حالی که SIC ثبات بعدی خود را حفظ می کند و با ویفرهای پردازش شده به طور مثبت تعامل نخواهد داشت.

مقاومت شیمیایی یکی دیگر از ویژگی های متمایز درپوش های SIC است. در پردازش نیمه هادی محیط هایی که ممکن است با گازهای خورنده ، مواد شیمیایی پلاسما یا واکنش پذیر با آنها روبرو شوید ، غیر معمول نیست. در آن سناریوها ، سطح SIC مانع بی اثر برای مقاومت در برابر آن آلودگی ها از تخریب سطح به مرور زمان و در نتیجه زندگی مؤثر طولانی تر خواهد بود. این طول عمر برابر با کاهش هزینه های نگهداری ، کاهش تجهیزات کاهش زمان و تکرارپذیری در چرخه های فرآیند طولانی است. این عوامل باعث می شود که درب SIC گزینه بهتری برای فاب هایی باشد که در مقایسه با مواد سنتی نیاز به تولید مداوم و با عملکرد بالا دارند.

درست مانند مقاومت شیمیایی ، خلوص نیز در کاربرد نیمه هادی مهم است. وجود آلاینده های کمیاب می تواند تأثیر منفی بر عملکرد و عملکرد دستگاه داشته باشد. درب SIC از مواد کاربید سیلیکون با خلوص بالا ساخته شده است که احتمال ناخالصی های فلزی در محیط فرآیند را حذف نمی کند. علاوه بر این ، تضمین می شود که تا حد امکان تمیز و پایدار باشد زیرا مربوط به آلاینده ها و نیروهای خارجی است که بر عملکرد درب تأثیر می گذارد ، که در تحقق الزامات تولید نیمه هادی امروزی بسیار مهم است ، جایی که اشیاء سطح نانومتر باید با دقت بدون بعد و کنترل آلودگی ها تعریف شوند. انعطاف پذیری که درب SIC ارائه می دهد مقدار اضافی است. هر مؤلفه را می توان برای نیازهای خاص مشتری با توجه به اندازه ، هندسه و سطح سطح طراحی کرد. این تضمین می کند که درب می تواند به راحتی با مدل های تجهیزات مختلف و ابزارهای فرآیند در آن ادغام شود و ادغام شود.

دقت ماشینکاریباکرهدرب ها بیشتر ارزش درب های SIC را بهبود می بخشد. ابزارهای نیمه هادی به دلیل نوسانات زیاد در سازگاری ابعاد و یکنواختی سطح ، به بالاترین دقت مکانیکی نیاز دارند ، حتی واریانس های جزئی در یکنواختی و ضخامت مواد می توانند به شدت سازش یک فرآیند ابزار ، توان و کیفیت محصول را به خطر بیاندازند. از طریق فن آوری های پیشرفته در پردازش مواد ، درب های SIC دارای صافی ، یکنواختی سطح و تحمل هایی هستند که از استانداردهای صنعت معمولی فراتر رفته و ضخامت سطح آب بندی مکانیکی را به طور معمول ، هزاران/هزار اینچ (TIR) ​​ارائه می دهند. صافی بالا اجازه می دهد تا یک مکانیکی را آب بندی کنید و همچنین اطمینان از محدودیت های درجه آزمایشگاهی برای تجربه شرایط در فرآیند تولید را می توان تکرار کرد. این امر به ویژه در فاب های با حجم بالا مشهود است که تأکید بر تکرارپذیری شرایط برای عملکرد دستگاه های نیمه هادی بسیار مهم است. هنگامی که مهندسی دقیق را دنبال می کنید ، مستقیماً برای عملکرد بهینه سازی صحبت می کند. هنگامی که درب های Sic در استفاده عملی معمولی قرار دارند ، به عنوان مثال ، در اپیتاکس که در آن درب SIC از نظر حرارتی و شیمیایی پایدار است تا در راکتور قرار بگیرد ، یا در یک سیستم کاشت یونی برای مقاومت در برابر ذرات پرانرژی که از یک پرتوی قدرت بالا که در درب آن قرار دارند ، در معرض تنظیمات مکانیکی و خاصیت آنها در ترکیبات استباری قرار گرفته است و عملکرد آنها را تحت تأثیر قرار می دهد و عملکرد آنها را تحت تأثیر قرار می دهد. درپوش های SIC به عنوان مترادف در تولید نیمه هادی حالت جامد مترادف هستند.

درب Semicorex SiC بهترین ها را از نظر علوم مواد و مهندسی مواد نشان می دهد و بهترین عملکرد ممکن را در محیط نیمه هادی ارائه می دهد ، از جمله تحمل دمای بالا ، مقاومت شیمیایی ، پاکسازی ایده آل ، ساختهای سفارشی ، کار دقیق ماشینکاری ، درب SIC انجام خواهد داد.