صفحه اصلی > محصولات > روکش کاربید سیلیکون > حامل اچینگ PSS > صفحه اچ سیلیکونی برای برنامه های اچینگ PSS
صفحه اچ سیلیکونی برای برنامه های اچینگ PSS

صفحه اچ سیلیکونی برای برنامه های اچینگ PSS

صفحه اچ سیلیکونی Semicorex برای کاربردهای PSS Etching یک حامل گرافیت با کیفیت بالا و فوق العاده خالص است که به طور خاص برای رشد اپیتاکسیال و فرآیندهای جابجایی ویفر طراحی شده است. حامل ما می تواند در محیط های خشن، دمای بالا و تمیز کردن شیمیایی خشن مقاومت کند. صفحه اچ سیلیکونی برای کاربردهای اچینگ PSS دارای خواص توزیع حرارت عالی، هدایت حرارتی بالا و مقرون به صرفه است. محصولات ما به طور گسترده در بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا مورد استفاده قرار می گیرند و ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک بلندمدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

صفحه اچ سیلیکونی Semicorex برای کاربردهای PSS Etching برای سخت‌ترین کاربردهای تجهیزات epitaxy مهندسی شده است. حامل گرافیت فوق‌العاده خالص ما می‌تواند در محیط‌های خشن، دماهای بالا و تمیز کردن شیمیایی خشن مقاومت کند. حامل با پوشش SiC دارای خواص توزیع حرارت عالی، هدایت حرارتی بالا و مقرون به صرفه است.


پارامترهای صفحه اچ سیلیکونی برای برنامه های اچینگ PSS

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC

ویژگی های SiC-CVD

ساختار کریستالی

فاز FCC β

تراکم

g/cm³

3.21

سختی

سختی ویکرز

2500

اندازه دانه

¼ دقیقه

2 تا 10

خلوص شیمیایی

%

99.99995

ظرفیت گرمایی

J·kg-1 ·K-1

640

دمای تصعید

2700

قدرت فلکسورال

MPa (RT 4 نقطه ای)

415

مدول یانگ

Gpa (خم 4pt، 1300)

430

انبساط حرارتی (C.T.E)

10-6K-1

4.5

رسانایی گرمایی

(W/mK)

300


ویژگی های Silicon Etch Plate برای برنامه های PSS Etching

- از لایه برداری خودداری کنید و از پوشش روی تمام سطوح اطمینان حاصل کنید

مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا: پایدار در دماهای بالا تا 1600 درجه سانتیگراد

خلوص بالا: ساخته شده توسط رسوب بخار شیمیایی CVD در شرایط کلرزنی با دمای بالا.

مقاومت در برابر خوردگی: سختی بالا، سطح متراکم و ذرات ریز.

مقاومت در برابر خوردگی: معرف های اسیدی، قلیایی، نمکی و آلی.

- دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام

- تضمین یکنواختی پروفیل حرارتی

- از هر گونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها جلوگیری کنید





تگ های داغ: صفحه اچ سیلیکونی برای برنامه های اچینگ PSS، چین، تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه، سفارشی، فله، پیشرفته، بادوام

دسته بندی مرتبط

ارسال استعلام

لطفاً درخواست خود را در فرم زیر ارائه دهید. ما ظرف 24 ساعت به شما پاسخ خواهیم داد.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept