غشاهای سرامیکی کاربید سیلیکون دارای ویژگی های ثبات شیمیایی بالا ، مقاومت در برابر شوک حرارتی خوب ، آبگریز قوی ، شار بزرگ غشای ، استحکام مکانیکی بالا ، توزیع اندازه منافذ غلیظ و شیب ساختار منافذ خوب است.
ادامه مطلبدر حال حاضر ، کاربید سیلیکون بر نسل سوم نیمه هادی ها حاکم است. در ساختار هزینه دستگاه های کاربید سیلیکون ، بسترها 47 ٪ را تشکیل می دهند ، و اپیتاکس 23 ٪ کمک می کند. با هم ، این دو مؤلفه حدود 70 ٪ از هزینه کلی تولید را نشان می دهند و آنها را در زنجیره تولید دستگاه کاربید سیلیکون بسیار مهم می کند.
ادامه مطلب