گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط یک فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد میشود.
کاربید تانتالم (TaC) ترکیبی است که از تانتالم و کربن تشکیل شده است. رسانایی الکتریکی فلزی و نقطه ذوب فوقالعاده بالایی دارد که آن را به یک ماده سرامیکی نسوز تبدیل میکند که به دلیل استحکام، سختی و مقاومت در برابر حرارت و سایش شناخته شده است. نقطه ذوب کاربیدهای تانتالم بسته به خلوص در حدود 3880 درجه سانتیگراد به اوج خود می رسد و یکی از بالاترین نقطه ذوب را در بین ترکیبات دوتایی دارد. این باعث می شود زمانی که تقاضاهای دمایی بالاتر از قابلیت های عملکرد مورد استفاده در فرآیندهای همپایه نیمه هادی های ترکیبی مانند MOCVD و LPE فراتر رود، آن را به یک جایگزین جذاب تبدیل می کند.
داده های مواد پوشش Semicorex TaC
پروژه ها |
پارامترها |
تراکم |
14.3 (gm/cm³) |
انتشار |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
سختی (HK) |
2000 |
مقاومت (اهم-سانتی متر) |
1×10-5 |
پایداری حرارتی |
<2500℃ |
تغییر ابعاد گرافیت |
-10~-20um (مقدار مرجع) |
ضخامت پوشش |
مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
|
|
موارد فوق مقادیر معمولی هستند |
|
حلقه راهنمای پوشش Semicorex TaC به عنوان بخش مهمی در تجهیزات رسوب بخار شیمیایی فلزی-آلی (MOCVD) عمل می کند و از تحویل دقیق و پایدار گازهای پیش ساز در طول فرآیند رشد اپیتاکسیال اطمینان می دهد. حلقه راهنمای پوشش TaC مجموعهای از ویژگیها را نشان میدهد که آن را برای تحمل شرایط شدید موجود در محفظه راکتور MOCVD ایدهآل میکند.**
ادامه مطلبارسال استعلامچاک ویفری روکش Semicorex TaC به عنوان اوج نوآوری در فرآیند اپیتاکسی نیمه هادی، مرحله ای حیاتی در تولید نیمه هادی، ایستاده است. با تعهد خود به ارائه محصولات با کیفیت بالا با قیمت های رقابتی، آماده هستیم تا شریک بلندمدت شما در چین باشیم.*
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex MOCVD Susceptor with TaC Coating یک جزء پیشرفته است که به دقت برای عملکرد بهینه در فرآیندهای اپیتاکسی نیمه هادی در سیستم های MOCVD ساخته شده است. Semicorex در تعهد ما به ارائه محصولات برتر با قیمت های بسیار رقابتی تزلزل ناپذیر است. ما مشتاقیم تا یک همکاری پایدار با شما در چین ایجاد کنیم.*
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه پوشش دار Semicorex CVD TaC به عنوان یک جزء حیاتی در پردازش نیمه هادی حاکم است که نمادی از اوج مهندسی مواد مدرن است. این حلقه که برای اجرا در سختترین محیطها که در آن دقت و قابلیت اطمینان حاکم است، ساخته شده است، این حلقه تلفیق تکنیکهای پوششدهی پیشرفته با علم مواد انعطافپذیر است. Semicorex با استواری محصولات درجه یک را با قیمت های رقابتی ارائه می دهد، و ما مشتاقانه پیش بینی می کنیم که یک همکاری طولانی مدت با شما در چین ایجاد کنیم.*
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex TaC Coated Planetary Susceptor یک جزء بسیار تخصصی است که برای استفاده در فرآیندهای همپایی تولید نیمه هادی طراحی شده است. Semicorex به ارائه محصولات با کیفیت بالا با قیمت های رقابتی اختصاص دارد. ما مشتاقیم تا در چین یک همکاری بلندمدت با شما ایجاد کنیم.*
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه راهنمای پوشش کاربید تانتالوم Semicorex یک جزء پیشرفته است که به طور خاص برای صنعت نیمه هادی طراحی شده است و نقش مهمی در رشد کریستال های سیلیکون کاربید (SiC) دارد. این محصول برای پاسخگویی به نیازهای سخت محیط های با دمای بالا و استرس بالا که در فرآیندهای رشد کریستال های نیمه هادی ذاتی هستند، طراحی شده است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم*.
ادامه مطلبارسال استعلام