گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط یک فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد میشود.
کاربید تانتالم (TaC) ترکیبی است که از تانتالم و کربن تشکیل شده است. رسانایی الکتریکی فلزی و نقطه ذوب فوقالعاده بالایی دارد که آن را به یک ماده سرامیکی نسوز تبدیل میکند که به دلیل استحکام، سختی و مقاومت در برابر حرارت و سایش شناخته شده است. نقطه ذوب کاربیدهای تانتالم بسته به خلوص در حدود 3880 درجه سانتیگراد به اوج خود می رسد و یکی از بالاترین نقطه ذوب را در بین ترکیبات دوتایی دارد. این باعث می شود زمانی که تقاضاهای دمایی بالاتر از قابلیت های عملکرد مورد استفاده در فرآیندهای همپایه نیمه هادی های ترکیبی مانند MOCVD و LPE فراتر رود، آن را به یک جایگزین جذاب تبدیل می کند.
داده های مواد پوشش Semicorex TaC
پروژه ها |
پارامترها |
تراکم |
14.3 (gm/cm³) |
انتشار |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
سختی (HK) |
2000 |
مقاومت (اهم-سانتی متر) |
1×10-5 |
پایداری حرارتی |
<2500℃ |
تغییر ابعاد گرافیت |
-10~-20um (مقدار مرجع) |
ضخامت پوشش |
مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
|
|
موارد فوق مقادیر معمولی هستند |
|
حلقه مهر و موم پوشش داده شده با TaC Semicorex که بر روی اجزای آب بندی اعمال می شود، مزایای عملکردی استثنایی را در محیط های سخت ساخت نیمه هادی ارائه می دهد. پوشش TaC چالشهای حیاتی مربوط به مقاومت شیمیایی، دماهای شدید و سایش مکانیکی را برطرف میکند و بازده فرآیند بالاتر، افزایش زمان کارکرد تجهیزات و در نهایت کاهش هزینههای تولید را ممکن میسازد. ما در Semicorex به تولید و عرضه حلقه مهر و موم با پوشش TaC با کارایی بالا که کیفیت را با کارایی مقرون به صرفه ترکیب می کند اختصاص داده ایم.**
ادامه مطلبارسال استعلامگیرنده پوشیده شده با کاربید تانتالوم Semicorex یک جزء حیاتی است که نقشی اساسی در فرآیندهای رسوب گذاری ضروری برای ایجاد ویفرهای نیمه هادی ایفا می کند. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم*.
ادامه مطلبارسال استعلامچاک کاربید تانتالیوم Semicorex یک جزء پیشرفته مورد استفاده در تجهیزات تولید نیمه هادی است که به دلیل خواص حرارتی و مکانیکی استثنایی خود مشهور است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم*.
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه پوشش دار Semicorex TaC به عنوان یک جزء حیاتی است که این الزامات مورد نیاز را برآورده می کند. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم*.
ادامه مطلبارسال استعلامسر دوش با روکش Semicorex TaC جزء جدایی ناپذیر فرآیند رسوب بخار شیمیایی است که عملکرد و طول عمر بی نظیری را ارائه می دهد. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم*.
ادامه مطلبارسال استعلامچاک با روکش Semicorex TaC نشان دهنده پیشرفت قابل توجهی در زمینه تولید نیمه هادی است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم*.
ادامه مطلبارسال استعلام