گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط یک فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد میشود.
کاربید تانتالم (TaC) ترکیبی است که از تانتالم و کربن تشکیل شده است. رسانایی الکتریکی فلزی و نقطه ذوب فوقالعاده بالایی دارد که آن را به یک ماده سرامیکی نسوز تبدیل میکند که به دلیل استحکام، سختی و مقاومت در برابر حرارت و سایش شناخته شده است. نقطه ذوب کاربیدهای تانتالم بسته به خلوص در حدود 3880 درجه سانتیگراد به اوج خود می رسد و یکی از بالاترین نقطه ذوب را در بین ترکیبات دوتایی دارد. این باعث می شود زمانی که تقاضاهای دمایی بالاتر از قابلیت های عملکرد مورد استفاده در فرآیندهای همپایه نیمه هادی های ترکیبی مانند MOCVD و LPE فراتر رود، آن را به یک جایگزین جذاب تبدیل می کند.
داده های مواد پوشش Semicorex TaC
پروژه ها |
پارامترها |
تراکم |
14.3 (gm/cm³) |
انتشار |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
سختی (HK) |
2000 |
مقاومت (اهم-سانتی متر) |
1×10-5 |
پایداری حرارتی |
<2500℃ |
تغییر ابعاد گرافیت |
-10~-20um (مقدار مرجع) |
ضخامت پوشش |
مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
|
|
موارد فوق مقادیر معمولی هستند |
|
Semicorex TaC Coated Susceptor (Semicorex TaC Coated Susceptor) یک جزء بسیار تخصصی است که در ساخت نیمه هادی ها و سایر کاربردهای در دمای بالا استفاده می شود. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامچاک پوششی کاربید تانتالوم Semicorex یک قطعه مهندسی دقیق است که برای استفاده در محیط های با دمای بالا و استرس بالا طراحی شده است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه پوششی Semicorex CVD TaC یک جزء با کارایی بالا است که برای کاربردهای سخت که نیاز به مقاومت در برابر سایش استثنایی، پایداری حرارتی و بی اثری شیمیایی دارند، طراحی شده است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex TaC Coating Planetary Plate یک جزء با کارایی بالا است که به طور خاص برای سیستم های MOCVD طراحی شده است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex TaC Coating Upper Halfmoon یک جزء تخصصی است که برای فرآیندهای اپیتاکسیال با کارایی بالا در تولید نیمه هادی مهندسی شده است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex Carbide Tantalum Coating Halfmoon Part یک جزء بسیار تخصصی است که برای استفاده در فرآیند رسوب اپیتاکسیال طراحی شده است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلام