گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط یک فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد میشود.
کاربید تانتالم (TaC) ترکیبی است که از تانتالم و کربن تشکیل شده است. رسانایی الکتریکی فلزی و نقطه ذوب فوقالعاده بالایی دارد که آن را به یک ماده سرامیکی نسوز تبدیل میکند که به دلیل استحکام، سختی و مقاومت در برابر حرارت و سایش شناخته شده است. نقطه ذوب کاربیدهای تانتالم بسته به خلوص در حدود 3880 درجه سانتیگراد به اوج خود می رسد و یکی از بالاترین نقطه ذوب را در بین ترکیبات دوتایی دارد. این باعث می شود زمانی که تقاضاهای دمایی بالاتر از قابلیت های عملکرد مورد استفاده در فرآیندهای همپایه نیمه هادی های ترکیبی مانند MOCVD و LPE فراتر رود، آن را به یک جایگزین جذاب تبدیل می کند.
داده های مواد پوشش Semicorex TaC
پروژه ها |
پارامترها |
تراکم |
14.3 (gm/cm³) |
انتشار |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
سختی (HK) |
2000 |
مقاومت (اهم-سانتی متر) |
1×10-5 |
پایداری حرارتی |
<2500℃ |
تغییر ابعاد گرافیت |
-10~-20um (مقدار مرجع) |
ضخامت پوشش |
مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
|
|
موارد فوق مقادیر معمولی هستند |
|
حلقه پوشیده شده با کاربید تانتالوم Semicorex یک جزء حیاتی است که در پردازش نیمه هادی استفاده می شود. این با یک پوشش تخصصی طراحی شده است که عملکردهای متعددی را برای افزایش کارایی و طول عمر اجزای گرافیت در ماشین آلات نیمه هادی انجام می دهد. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامقطعات گرافیتی با پوشش Semicorex TaC قطعاتی هستند که با دقت ساخته شده اند که به طور ویژه برای مقاومت در برابر محیط سخت پردازش نیمه هادی طراحی شده اند. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامپوشش گرافیتی Semicorex TaC یک راه حل پیشرفته در حوزه کاربردهای حرارتی برای رشد کریستال و فرآیندهای اپیتاکسیال (epi) است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه پوشش Semicorex TaC به عنوان یک جزء محوری در قلمرو رشد تک کریستال در میدان حرارتی قرار دارد. این حلقه راهنمای تخصصی که با دقت و نوآوری ساخته شده است، نقش مهمی در فرآیند پیچیده تولید مواد تک کریستالی ایفا می کند. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex TaC Coated Wafer Susceptor یک جزء حیاتی است که در کورههای رسوب بخار شیمیایی فلز-آلی (MOCVD) برای پردازش نیمه هادی همپایی (epi) استفاده میشود. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامصفحه پوشش داده شده با کاربید تانتالوم Semicorex TaC یک راه حل پیشرفته است که برای برآورده کردن نیازهای سختگیرانه تولید نیمه هادی ها، به ویژه در مرحله پردازش همپایی (epi) طراحی شده است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلام