گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط یک فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد میشود.
کاربید تانتالم (TaC) ترکیبی است که از تانتالم و کربن تشکیل شده است. رسانایی الکتریکی فلزی و نقطه ذوب فوقالعاده بالایی دارد که آن را به یک ماده سرامیکی نسوز تبدیل میکند که به دلیل استحکام، سختی و مقاومت در برابر حرارت و سایش شناخته شده است. نقطه ذوب کاربیدهای تانتالم بسته به خلوص در حدود 3880 درجه سانتیگراد به اوج خود می رسد و یکی از بالاترین نقطه ذوب را در بین ترکیبات دوتایی دارد. این باعث می شود زمانی که تقاضاهای دمایی بالاتر از قابلیت های عملکرد مورد استفاده در فرآیندهای همپایه نیمه هادی های ترکیبی مانند MOCVD و LPE فراتر رود، آن را به یک جایگزین جذاب تبدیل می کند.
داده های مواد پوشش Semicorex TaC
پروژه ها |
پارامترها |
تراکم |
14.3 (gm/cm³) |
انتشار |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
سختی (HK) |
2000 |
مقاومت (اهم-سانتی متر) |
1×10-5 |
پایداری حرارتی |
<2500℃ |
تغییر ابعاد گرافیت |
-10~-20um (مقدار مرجع) |
ضخامت پوشش |
مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
|
|
موارد فوق مقادیر معمولی هستند |
|
حلقه راهنمای Semicorex TaC پوشش داده شده، اوج نوآوری در کوره های رشد تک کریستال SiC (سیلیکون کاربید). این حلقه راهنما که با دقت طراحی شده است تا نیازهای سخت صنعت نیمه هادی ها را برآورده کند، نوید تعریف مجدد فرآیندهای رشد کریستال شما را با دقت و قابلیت اطمینان بی نظیر می دهد.
ادامه مطلبارسال استعلامگیره گرافیتی با پوشش TaC پیشرفته Semicorex، یک جزء انقلابی طراحی شده برای بالا بردن فرآیند اپیتاکسیال ویفر شما به ارتفاعات جدیدی از کارایی و دقت. Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor که با تخصص بینظیر و با بهرهگیری از فنآوریهای پیشرفته ساخته شده است، برای پاسخگویی به نیازهای دقیق تولید نیمهرساناها مهندسی شده است.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex قطعات گرافیتی با پوشش کاربید تانتالم با کیفیت بالا را با خدمات سفارشی ارائه می دهد. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex گیره گرافیت با پوشش کاربید تانتالم را با خدمات سفارشی ارائه می دهد. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامگرافیت متخلخل با پوشش Semicorex TaC، یک ماده پیشرفته با خلوص بالا در پردازش نیمه هادی است. این قطعه حیاتی از تجهیزات نقشی اساسی در روند رشد SiC تک کریستالی ایفا می کند. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامبه عنوان تولید کننده حرفه ای، ما می خواهیم حلقه های با پوشش TaC را به شما ارائه دهیم. معرفی حلقه پوشش دار CVD Tac، راه حلی پیشرفته برای تجهیزات نیمه هادی. این محصول پیشرفته دارای پوشش پیشرفته رسوب بخار شیمیایی (CVD) است که دوام و مقاومت استثنایی در برابر سایش و پارگی را فراهم می کند.
ادامه مطلبارسال استعلام