گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط یک فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد میشود.
کاربید تانتالم (TaC) ترکیبی است که از تانتالم و کربن تشکیل شده است. رسانایی الکتریکی فلزی و نقطه ذوب فوقالعاده بالایی دارد که آن را به یک ماده سرامیکی نسوز تبدیل میکند که به دلیل استحکام، سختی و مقاومت در برابر حرارت و سایش شناخته شده است. نقطه ذوب کاربیدهای تانتالم بسته به خلوص در حدود 3880 درجه سانتیگراد به اوج خود می رسد و یکی از بالاترین نقطه ذوب را در بین ترکیبات دوتایی دارد. این باعث می شود زمانی که تقاضاهای دمایی بالاتر از قابلیت های عملکرد مورد استفاده در فرآیندهای همپایه نیمه هادی های ترکیبی مانند MOCVD و LPE فراتر رود، آن را به یک جایگزین جذاب تبدیل می کند.
داده های مواد پوشش Semicorex TaC
پروژه ها |
پارامترها |
تراکم |
14.3 (gm/cm³) |
انتشار |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
سختی (HK) |
2000 |
مقاومت (اهم-سانتی متر) |
1×10-5 |
پایداری حرارتی |
<2500℃ |
تغییر ابعاد گرافیت |
-10~-20um (مقدار مرجع) |
ضخامت پوشش |
مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
|
|
موارد فوق مقادیر معمولی هستند |
|
Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor یک جزء حیاتی است که در کورههای رسوب بخار شیمیایی فلز-آلی (MOCVD) برای پردازش نیمه هادی همپایی (epi) استفاده میشود. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامصفحه پوشش داده شده با کاربید تانتالوم Semicorex TaC یک راه حل پیشرفته است که برای برآورده کردن نیازهای سختگیرانه تولید نیمه هادی ها، به ویژه در مرحله پردازش همپایی (epi) طراحی شده است. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه راهنمای Semicorex TaC پوشش داده شده، اوج نوآوری در کوره های رشد تک کریستال SiC (سیلیکون کاربید). این حلقه راهنما که با دقت طراحی شده است تا نیازهای سخت صنعت نیمه هادی ها را برآورده کند، نوید تعریف مجدد فرآیندهای رشد کریستال شما را با دقت و قابلیت اطمینان بی نظیر می دهد.
ادامه مطلبارسال استعلامگیره گرافیتی با پوشش TaC پیشرفته Semicorex، یک جزء انقلابی طراحی شده برای بالا بردن فرآیند اپیتاکسیال ویفر شما به ارتفاعات جدیدی از کارایی و دقت. Semicorex TaC Coated Graphite Susceptor که با تخصص بینظیر و با بهرهگیری از فنآوریهای پیشرفته ساخته شده است، برای پاسخگویی به نیازهای دقیق تولید نیمهرساناها مهندسی شده است.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex قطعات گرافیتی با پوشش کاربید تانتالم با کیفیت بالا را با خدمات سفارشی ارائه می دهد. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex گیره گرافیت با پوشش کاربید تانتالم را با خدمات سفارشی ارائه می دهد. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.
ادامه مطلبارسال استعلام