گرافیت پوشش TaC با پوشش دادن سطح زیرلایه گرافیت با خلوص بالا با یک لایه ریز کاربید تانتالیوم توسط یک فرآیند اختصاصی رسوب بخار شیمیایی (CVD) ایجاد میشود.
کاربید تانتالم (TaC) ترکیبی است که از تانتالم و کربن تشکیل شده است. رسانایی الکتریکی فلزی و نقطه ذوب فوقالعاده بالایی دارد که آن را به یک ماده سرامیکی نسوز تبدیل میکند که به دلیل استحکام، سختی و مقاومت در برابر حرارت و سایش شناخته شده است. نقطه ذوب کاربیدهای تانتالم بسته به خلوص در حدود 3880 درجه سانتیگراد به اوج خود می رسد و یکی از بالاترین نقطه ذوب را در بین ترکیبات دوتایی دارد. این باعث می شود زمانی که تقاضاهای دمایی بالاتر از قابلیت های عملکرد مورد استفاده در فرآیندهای همپایه نیمه هادی های ترکیبی مانند MOCVD و LPE فراتر رود، آن را به یک جایگزین جذاب تبدیل می کند.
داده های مواد پوشش Semicorex TaC
پروژه ها |
پارامترها |
تراکم |
14.3 (gm/cm³) |
انتشار |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
سختی (HK) |
2000 |
مقاومت (اهم-سانتی متر) |
1×10-5 |
پایداری حرارتی |
<2500℃ |
تغییر ابعاد گرافیت |
-10~-20um (مقدار مرجع) |
ضخامت پوشش |
مقدار معمولی ≥20um (10±35um) |
|
|
موارد فوق مقادیر معمولی هستند |
|
چاک گرافیتی با پوشش Semicorex TaC یک جزء با کارایی بالا است که برای جابجایی دقیق ویفر و فرآیندهای با دمای بالا در تولید نیمه هادی طراحی شده است. Semicorex را برای محصولات نوآورانه و بادوام آن انتخاب کنید که عملکرد مطلوب و طول عمر را در کاربردهای نیمه هادی سخت تضمین می کند.*
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه Semicorex TaC یک جزء با کارایی بالا است که برای رشد تک کریستال SiC طراحی شده است که توزیع بهینه جریان گاز و کنترل دما را تضمین می کند. Semicorex را برای تخصص ما در مواد پیشرفته و مهندسی دقیق انتخاب کنید و راه حل های بادوام و قابل اعتمادی را ارائه دهید که کارایی و کیفیت فرآیندهای نیمه هادی شما را افزایش می دهد.*
ادامه مطلبارسال استعلامقطعه کاربید تانتالیوم Semicorex یک جزء گرافیت با پوشش TaC است که برای استفاده با کارایی بالا در کاربردهای رشد کریستال کاربید سیلیکون (SiC) طراحی شده است و مقاومت بسیار خوبی در دما و مواد شیمیایی دارد. Semicorex را برای قطعات قابل اعتماد و با کیفیتی که کیفیت کریستال و راندمان تولید را در تولید نیمه هادی افزایش می دهد، انتخاب کنید.*
ادامه مطلبارسال استعلامحلقه های کاربید تانتالیوم Semicorex اجزای حیاتی هستند که در فرآیندهای ساخت نیمه هادی پیشرفته استفاده می شوند. ما در Semicorex که به دلیل سختی استثنایی، نقطه ذوب بالا و بی اثری شیمیایی شناخته شده است، به ارائه محصولاتی که بالاترین استانداردهای کیفیت و عملکرد را دارند، متعهد هستیم تا اطمینان حاصل کنیم که مشتریان ما در خط مقدم نوآوری در صنعت نیمه هادی ها باقی می مانند.*
ادامه مطلبارسال استعلامSemicorex TaC Coating Wafer Susceptor یک سینی گرافیتی است که با کاربید تانتالیوم پوشانده شده است که در رشد اپیتاکسیال کاربید سیلیکون برای افزایش کیفیت و عملکرد ویفر استفاده می شود. Semicorex را برای فناوری پوشش پیشرفته و راهحلهای بادوام آن انتخاب کنید که نتایج برتر اپیتاکسی SiC و طول عمر بیشتر سوسپتور را تضمین میکند.*
ادامه مطلبارسال استعلامحلقههای راهنمای پوشش TaC حلقههای گرافیتی با روکش کاربید تانتالم هستند که برای استفاده در کورههای رشد کریستال کاربید سیلیکون برای افزایش کیفیت کریستال طراحی شدهاند. Semicorex را برای فناوری پوشش پیشرفته آن، تضمین دوام برتر، پایداری حرارتی و عملکرد بهینه رشد کریستال انتخاب کنید.*
ادامه مطلبارسال استعلام