نگهدارنده کریستال دانه با پوشش TaC یک جزء با کارایی بالا است که به طور خاص برای محیط رشد مواد نیمه هادی طراحی شده است. Semicorex به عنوان یک تولید کننده پیشرو در نگهدارندههای کریستال بذری با پوشش TTaC، راهحلهای اجزای اصلی کارآمد را در زمینه تولید نیمهرساناهای پیشرفته به شما ارائه میدهد.
بستر ازبا پوشش TaCنگهدارنده کریستال بذر معمولاً از گرافیت، کاربید سیلیکون یا مواد کامپوزیت کربن/کربن ساخته میشود و سپس لایهای از پوشش TaC از طریق فناوری پیشرفته رسوب شیمیایی بخار با دمای فوقالعاده بالا (CVD) روی سطح آن اعمال میشود. نگهدارنده کریستال دانه با پوشش TaC ساخته شده با این روش دارای مقاومت در برابر خوردگی عالی، استحکام فوق العاده مکانیکی، مقاومت خوب در دمای بالا و هدایت حرارتی کارآمد است.
عملکرد نگهدارنده کریستال دانه با پوشش TaC
1. تابع پشتیبانی
نگهدارنده کریستال دانه با پوشش TaC Semicorex یک پلت فرم پشتیبانی پایدار برای کریستال های بذر فراهم می کند و تضمین می کند که کریستال دانه در شرایط چالش برانگیز مانند دمای بالا و خلاء بالا موقعیت ثابتی را حفظ می کند. این به طور موثر از مسائلی مانند جابجایی کریستال یا آسیب ناشی از ارتعاش و جریان هوا جلوگیری می کند و در نتیجه تداوم و پایداری رشد کریستال را تضمین می کند.
1. تابع پشتیبانی
نگهدارنده کریستال بذر با پوشش TaC در بالای درب بوته گرافیتی نصب شده است و درب گرافیت را از بخار Si با دمای بالا جدا می کند. این به طور موثر از خوردگی ناشی از بخار جلوگیری می کند و طول عمر درب گرافیت را طولانی می کند. علاوه بر این، پایداری شیمیایی ذاتی و مقاومت در برابر دمای حرارتی پوشش TaC نیز به کاهش ورود ناخالصیها کمک میکند و محیطی پایدار و تمیز برای رشد کریستالهای بذر فراهم میکند.
3. کنترل دما
نگهدارنده کریستال بذری با پوشش Semicorex TaC از تکنیک های تولیدی استفاده می کند که در خط مقدم صنعت هستند. کنترل دقیق دمای میدان حرارتی را می توان با بهینه سازی ماهرانه شکل، ابعاد و ضخامت پوشش آنها به دست آورد. این امر به طور قابل توجهی نرخ نقص را کاهش می دهد و به طور موثر رشد یکنواخت کریستال را افزایش می دهد.