قطعات گرافیتی با پوشش کاربید تانتالم

Semicorex قطعات گرافیتی با پوشش کاربید تانتالم با کیفیت بالا را با خدمات سفارشی ارائه می دهد. Semicorex متعهد به ارائه محصولات با کیفیت با قیمت های رقابتی است، ما مشتاقانه منتظر هستیم که شریک طولانی مدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

قطعات گرافیتی با پوشش کاربید تانتالم نقش مهمی در فرآیندهای تولید نیمه هادی ایفا می کنند، جایی که دقت، قابلیت اطمینان و مقاومت در برابر شرایط سخت از اهمیت بالایی برخوردار است. این اجزای خاص، از جمله حلقه‌های حکاکی و بوته‌ها، برای تحمل محیط‌های چالش برانگیز در ساخت نیمه‌رساناها طراحی شده‌اند.

قطعات گرافیتی با روکش کاربید تانتالیوم مانند حلقه های اچینگ اجزای حیاتی هستند که در صنعت نیمه هادی برای فرآیندهایی مانند رسوب بخار شیمیایی (CVD) و رسوب فیزیکی بخار (PVD) استفاده می شوند. این حلقه ها در طول فرآیند اچینگ مستقیماً با گازهای واکنش پذیر و محیط های با دمای بالا در تماس هستند.

قطعات گرافیتی با پوشش کاربید تانتالیوم با لایه نازکی از کاربید تانتالیوم پوشانده شده اند. این پوشش مقاومت در برابر سایش و محافظت در برابر مواد شیمیایی خورنده را فراهم می کند و طول عمر و عملکرد ثابت را تضمین می کند.

پوشش کاربید تانتالیوم سختی و پایداری شیمیایی حلقه های اچ را افزایش می دهد و از تخریب و آلودگی جلوگیری می کند. همچنین به نتایج یکنواخت اچ و طول عمر عملیاتی طولانی کمک می کند.