بوته با پوشش TaC

معرفی بوته پوشش دار CVD Tac، راه حلی عالی برای سازندگان تجهیزات نیمه هادی و کاربرانی که بالاترین سطح کیفیت و عملکرد را می طلبند. بوته های ما با یک لایه پیشرفته CVD Tac (کاربید تانتالم) پوشیده شده اند که مقاومت بالایی در برابر خوردگی و سایش ایجاد می کند و آنها را برای استفاده در انواع کاربردهای نیمه هادی ایده آل می کند.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

بوته های ما که از مواد با کیفیت بالا ساخته شده و با پیشرفته ترین فناوری CVD Tac پوشانده شده اند، عملکرد و طول عمر فوق العاده ای را ارائه می دهند. پوشش CVD Tac یک لایه بسیار یکنواخت و متراکم را فراهم می کند که در برابر حملات شیمیایی، سایش و شوک حرارتی بسیار مقاوم است. این تضمین می کند که بوته های ما شکل و ابعاد خود را حتی پس از استفاده مکرر حفظ می کنند و نیاز به تعویض مکرر را کاهش می دهند.

بوته های پوشش داده شده CVD Tac ما همچنین با طیف وسیعی از فرآیندهای نیمه هادی از جمله رسوب شیمیایی بخار (CVD)، رسوب گذاری بخار فیزیکی (PVD) و رسوب لایه اتمی (ALD) سازگاری بالایی دارند. چه در حال تولید ریزتراشه، سلول های خورشیدی یا سایر دستگاه های نیمه هادی هستید، بوته های ما می توانند به شما در دستیابی به نتایج مطلوب کمک کنند.

پارامترهای پوشش TaC

پروژه ها	مولفه های
تراکم	14.3 (gm/cm³)
انتشار	0.3
CTE (×10^-6/K)	6.3
سختی (HK)	2000
مقاومت (اهم-سانتی متر)	1×10^-5
پایداری حرارتی	<2500
تغییر ابعاد گرافیت	-10~-20um (مقدار مرجع)
ضخامت پوشش	مقدار معمولی ¥20um (35±10um)

موارد فوق مقادیر معمولی هستند