سرامیک کاربید تانتالیوم متخلخل Semicorex یک سرامیک متخلخل با کارایی بالا است که به طور خاص در فرآیند انتقال بخار فیزیکی (PVT) مهندسی شده است. ساختار متخلخل خاص و خواص عالی آن نقش مهمی در تسهیل رشد کریستال کاربید سیلیکون با کیفیت بالا دارد. با انتخاب Semicorex، محلول های سرامیکی متخلخل ایده آل با کیفیت ثابت و عملکرد پایدار برای ساخت نیمه هادی های پیشرفته به دست خواهید آورد.
سرامیک کاربید تانتالیوم متخلخل Semicorex یک ماده سرامیکی با دمای فوق العاده بالا با نقطه ذوب در حدود 3880 ℃ است که به لطف ویژگی های عملکرد عالی زیر می تواند عملکرد پایدار را در محیط های عملیاتی چالش برانگیز با دمای بالا و خوردگی بالا حفظ کند.
حداکثر دمای کاری Semicorex متخلخلسرامیک کاربید تانتالیوممی تواند تا 3200 درجه سانتیگراد باشد و می تواند در شرایط رشد کریستال کاربید سیلیکون در دمای بالا برای مدت طولانی بدون تغییر شکل یا نرم شدن به طور پایدار عمل کند.
سرامیک کاربید تانتالیوم متخلخل Semicorex مقاومت در برابر خوردگی و مقاومت اکسیداسیون بهتری نسبت به سرامیک های معمولی نشان می دهد. این می تواند به طور موثر در برابر خوردگی اکسیژن با دمای بالا و بخار سی در فرآیند رشد کریستال مقاومت کند.
سرامیک کاربید تانتالیوم متخلخل Semicorex دارای منافذ داخلی با توزیع یکنواخت است، با تخلخل بین 10-60٪ (قابل تنظیم) و نرخ منافذ بیش از 98٪. این ساختار ویژه عناصر فاز بخار مانند Si و C را قادر میسازد تا به آرامی در داخل کوره رشد کریستال جریان یافته و پخش شوند و رشد کریستالهای با کیفیت را تا حد زیادی تسهیل میکنند.
در طول رشد کریستال کاربید سیلیکون از طریق فرآیند PVT، سرامیک کاربید تانتالم متخلخل Semicorex عمدتاً در فیلتراسیون عنصر فاز بخار، تنظیم گرادیان دمای کوره و هدایت جریان مواد گاز عمل می کند. سرامیک کاربید تانتالیوم متخلخل Semicorex متفاوت از مواد گرافیتی متخلخل متخلخل با روکش TaC متخلخل کاربید کاربید تانتالیوم مزایای مشخصی را نشان می دهد: متخلخل را از بین می برد.گرافیت با پوشش TaCاشکال مواد در نرخ کم منافذ ناشی از عملیات پوشش دهی، در حالی که از نقطه درد مواد گرافیتی پوشیده شده با TaC متخلخل در پوسته شدن پوشش در سرویس جلوگیری می شود. با استفاده از سرامیک کاربید تانتالوم متخلخل Semicorex، می توانید به طور موثری از عیوب گنجاندن کربن در رشد کریستال کاربید سیلیکون جلوگیری کنید، در نتیجه کیفیت رشد کریستال و عملکرد محصول را تا حد زیادی بهبود بخشید.