صفحه اصلی > محصولات > روکش کاربید سیلیکون > حامل RTP > حامل RTP برای رشد اپیتاکسیال MOCVD
حامل RTP برای رشد اپیتاکسیال MOCVD

حامل RTP برای رشد اپیتاکسیال MOCVD

Semicorex RTP Carrier for MOCVD Epitaxial Growth برای کاربردهای پردازش ویفر نیمه هادی، از جمله رشد اپیتاکسیال و پردازش ویفر، ایده آل است. گیرنده های کربن گرافیت و بوته های کوارتز توسط MOCVD بر روی سطح گرافیت، سرامیک و غیره پردازش می شوند. محصولات ما مزیت قیمت خوبی دارند و بسیاری از بازارهای اروپا و آمریکا را پوشش می دهند. ما مشتاقانه منتظریم تا شریک بلند مدت شما در چین شویم.

ارسال استعلام

توضیحات محصول

Semicorex حامل RTP را برای MOCVD Epitaxial Growth که برای پشتیبانی از ویفرها استفاده می شود، عرضه می کند که برای RTA، RTP یا تمیز کردن شیمیایی خشن واقعا پایدار است. در هسته فرآیند، گیرنده های اپیتاکسی، ابتدا در معرض محیط رسوب قرار می گیرند، بنابراین مقاومت در برابر حرارت و خوردگی بالایی دارند. حامل با پوشش SiC همچنین دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع حرارت عالی است.
حامل RTP ما برای MOCVD Epitaxial Growth برای دستیابی به بهترین الگوی جریان گاز آرام طراحی شده است و از یکنواختی پروفیل حرارتی اطمینان حاصل می کند. این به جلوگیری از هرگونه آلودگی یا انتشار ناخالصی ها کمک می کند و از رشد اپیتاکسیال با کیفیت بالا بر روی تراشه ویفر اطمینان می دهد.
امروز با ما تماس بگیرید تا در مورد حامل RTP ما برای MOCVD Epitaxial Growth بیشتر بدانید.


پارامترهای حامل RTP برای رشد اپیتاکسیال MOCVD

مشخصات اصلی پوشش CVD-SIC

ویژگی های SiC-CVD

ساختار کریستالی

فاز β FCC

تراکم

g/cm³

3.21

سختی

سختی ویکرز

2500

اندازه دانه

میکرومتر

2 تا 10

خلوص شیمیایی

%

99.99995

ظرفیت حرارتی

J kg-1 K-1

640

دمای تصعید

2700

قدرت فلکسورال

MPa (RT 4 نقطه ای)

415

مدول یانگ

Gpa (4pt خم، 1300℃)

430

انبساط حرارتی (C.T.E)

10-6K-1

4.5

هدایت حرارتی

(W/mK)

300


ویژگی های RTP Carrier برای MOCVD Epitaxial Growth

گرافیت با پوشش SiC با خلوص بالا
مقاومت حرارتی برتر و یکنواختی حرارتی
کریستال SiC ریز پوشش داده شده برای سطح صاف
ماندگاری بالا در برابر تمیز کردن شیمیایی
مواد به گونه ای طراحی شده است که ترک و لایه لایه شدن رخ نمی دهد.





تگ های داغ: حامل RTP برای MOCVD Epitaxial Growth، چین، تولیدکنندگان، تامین کنندگان، کارخانه، سفارشی، حجیم، پیشرفته، بادوام
دسته بندی مرتبط
ارسال استعلام
لطفاً درخواست خود را در فرم زیر ارائه دهید. ما ظرف 24 ساعت به شما پاسخ خواهیم داد.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept