حامل RTP RTA SiC با پوشش

Semicorex حامل RTP RTA SiC Coated است که برای پشتیبانی از ویفرها استفاده می شود، که واقعاً برای RTA، RTP یا تمیز کردن شیمیایی خشن پایدار است.  حامل با پوشش RTP RTA SiC با ساختار گرافیت روکش شده با کاربید سیلیکون (SiC) با خلوص بالا، مقاومت حرارتی عالی، حتی یکنواختی حرارتی برای ضخامت و مقاومت لایه epi، و مقاومت شیمیایی بادوام را ارائه می‌کند. پوشش کریستالی SiC ریز سطحی تمیز و صاف را فراهم می کند که برای جابجایی بسیار مهم است، زیرا ویفرهای بکر در بسیاری از نقاط در کل منطقه خود با گیرنده تماس می گیرند.
در Semicorex، ما بر ارائه RTP RTA SiC Coated Carrier با کیفیت بالا و مقرون به صرفه تمرکز می کنیم، رضایت مشتری را در اولویت قرار می دهیم و راه حل های مقرون به صرفه ارائه می کنیم. ما مشتاقانه منتظر هستیم تا شریک بلندمدت شما باشیم، محصولاتی با کیفیت بالا و خدمات استثنایی به مشتریان ارائه دهیم.

پارامترهای حامل RTP RTA SiC پوشش داده شده

ویژگی های RTP RTA SiC Coated Carrier

- هم بستر گرافیت و هم لایه کاربید سیلیکون چگالی خوبی دارند و می توانند نقش محافظتی خوبی در دمای بالا و محیط های کاری خورنده ایفا کنند.
- سوسپتور با روکش کاربید سیلیکون که برای رشد تک کریستال استفاده می شود، صافی سطحی بسیار بالایی دارد.
- کاهش تفاوت در ضریب انبساط حرارتی بین بستر گرافیت و لایه کاربید سیلیکون، به طور موثر استحکام پیوند را برای جلوگیری از ترک خوردگی و لایه لایه شدن بهبود می بخشد.
- هر دو لایه گرافیت و لایه کاربید سیلیکون دارای رسانایی حرارتی بالا و خواص توزیع گرما عالی هستند.
- نقطه ذوب بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی.