SOI چیست؟

سیلیکون روی عایق (SOI) به عنوان یکی از راه حل های جایگزینی مواد سیلیکونی تک کریستالی موجود در عصر فناوری نانو شناخته شده است و ابزار اصلی برای حفظ روند قانون مور است. Silicon-on-Insulator، یک فناوری بستری که جایگزین سیلیکون بستر فله سنتی با یک بستر "مهندسی" شده است، بیش از 30 سال است که در کاربردهای تخصصی مانند سیستم های الکترونیکی نظامی و فضایی مورد استفاده قرار می گیرد، جایی که SOI به دلیل عالی بودن دارای مزایای منحصر به فردی است. مقاومت در برابر تشعشع و ویژگی های سرعت بالا.

مواد SOI پایه و اساس توسعه فناوری SOI هستند و توسعه فناوری SOI به پیشرفت مداوم مواد SOI بستگی دارد. فقدان مواد SOI کم هزینه و با کیفیت، محدودیت اولیه برای فناوری SOI برای ورود به تولید صنعتی در مقیاس بزرگ بوده است. در سال‌های اخیر، با بلوغ فناوری آماده‌سازی مواد SOI، مشکل موادی که توسعه فناوری SOI را محدود می‌کند به تدریج حل می‌شود که در نهایت شامل دو نوع فناوری آماده‌سازی مواد SOI، یعنی کاشت Speration-by-Oxygen (SIMOX) می‌شود. و تکنولوژی پیوند. فناوری پیوند شامل فناوری سنتی Bond and Etch Back (BESOI) و فناوری Smart-cut ترکیبی از تزریق یون هیدروژن و پیوند است که توسط M. Bruel، یکی از بنیانگذاران SOITEC در فرانسه، و همچنین ترکیب آماده سازی مواد Simbond SOI ارائه شده است. جداسازی و پیوند اکسیژن توسط دکتر منگ چن در سال 2005 پیشنهاد شد. فن آوری جدید جداسازی تزریق اکسیژن و پیوند را ترکیب می کند.