قطعات سرامیکی نیمه هادی

قطعات سرامیکی نیمه هادی متعلق به سرامیک های پیشرفته است و بخشی ضروری از فرآیند تولید نیمه هادی است. مواد اولیه برای تهیه معمولاً مواد معدنی فوق العاده ، بسیار خوب مانند اکسید آلومینیوم ، کاربید سیلیکون ، نیترید آلومینیوم ، نیترید سیلیکون ، اکسید Yttrium ، اکسید زیرکونیوم و غیره هستند.

اکسید آلومینیوم

از آن به طور گسترده استفاده می شود ، و عملکرد محصول با توجه به خلوص متفاوت است. خلوص 95 ٪ زرد روشن و خلوص 99 ٪ سفید برفی است. این بیماری از استحکام ، مقاومت ، مقاومت در برابر سایش ، مقاومت در برابر دمای بالا و مقاومت در برابر خوردگی برخوردار است و می تواند برای تهیه بیشتر قسمتهای سرامیکی نیمه هادی مانند نازل های سرامیکی ، بازوهای سرامیکی و غیره استفاده شود.

کاربید سیلیکون

سیاه است ، دارای هدایت حرارتی بالا ، استحکام و سختی بالا ، وزن سبک ، مقاومت در برابر شوک خوب است و اغلب برای تهیه بازوهای خلاء و فنجان های مکش خلاء استفاده می شود.

نیترید آلومینیوم

دارای هدایت حرارتی بالایی ، ضریب انبساط حرارتی است که با سیلیکون مطابقت دارد ، از بین رفتن ثابت دی الکتریک و از بین رفتن دی الکتریک ، و می توان از آن برای ساخت بسترهای اتلاف گرما ، نازل های سرامیکی و غیره استفاده کرد.

نیترید سیلیکونی

نقطه ذوب بالا ، سختی فوق العاده بالا ، عدم تحرک شیمیایی بالا ، ضریب انبساط حرارتی کم ، هدایت حرارتی بالا ، مقاومت در برابر شوک حرارتی خوب ، مقاومت در برابر ضربه بالا و استحکام زیر 1200 ، ، که اغلب برای تهیه بسترهای سرامیکی ، لوله های سرامیکی و غیره استفاده می شود.

اکسید yttrium

نقطه ذوب بالا ، ثبات شیمیایی و فتوشیمیایی خوب ، هدایت حرارتی بالا ، انتقال خوب نور ، که اغلب با آلومینا برای ساخت پنجره های سرامیکی ترکیب می شود.

اکسید زیرکونیوم

استحکام مکانیکی بالا ، مقاومت در برابر دمای بالا ، مقاومت اسید و قلیایی ، عایق خوب ، با توجه به محتوای مختلف می توان از محصولات سرامیکی برای اهداف مختلف ، مانند بسترهای مدار یکپارچه و غیره تهیه کرد.

انواع قطعات:

قطعات سرامیکی نیمه هادی "همه جانبه" با عملکردهای مختلف به طور گسترده در انواع مختلف تجهیزات کلیدی نیمه هادی مورد استفاده قرار می گیرد ، عمدتا از جمله موارد زیر:

بازوی سرامیکی نیمه هادی

هنگام حمل ویفرها در تجهیزات نیمه هادی نقش دارد و نیاز به کار در یک محیط خلاء دارد. معمولاً با آلومینا با خلوص بالا یا کاربید سیلیکون تهیه می شود ، آلومینا مقرون به صرفه است و بیشتر مورد استفاده قرار می گیرد.

زیر بغل

در زمینه های بسته بندی الکترونیکی مختلف ، مانند دستگاه های الکترونیکی برق ، لیزر و غیره اعمال می شود و اغلب با موادی مانند آلومینا و نیترید سیلیکون تهیه می شود.

نازل سرامیکی

در HDP-CVD ، کیفیت آن بر خلوص و سرعت جریان گاز واکنش تأثیر می گذارد. سرامیک های نیترید آلومینیوم به دلیل عملکرد عالی آنها برای تجهیزات فرآیند پیشرفته مناسب تر هستند.

پنجره سرامیک

این یک مؤلفه اصلی اچر نیمه هادی است. می توان آن را بدون تأثیر در نفوذ پلاسما ، خلاء کرد. این ماده معمولاً از آلومینا با خلوص بالا و اکسید Yttrium ساخته شده است.

پوشش محفظه سرامیک

این یک مؤلفه اصلی تجهیزات رسوب فیلم نازک است که برای اطمینان از کیفیت ویفر و آب بندی محفظه واکنش بسیار مهم است.

خلاء سرامیکی چاک

از آن برای قرار دادن و گیره ویفر سیلیکون استفاده می شود. این سرامیک متخلخل است که از دو ماده سرامیکی ساخته شده است.

فرآیند آماده سازی:

روند آماده سازی قطعات سرامیکی نیمه هادی "کاردستی" پیچیده است ، عمدتاً شامل مراحل زیر است:

تهیه پودر

مواد اولیه باید دوباره پردازش شوند و پودر خام که نیازهای خود را برآورده می کند از طریق دسته بندی ، آسیاب توپ مکانیکی ، خشک کردن اسپری و سایر فرآیندها بدست می آید.

قالب پودری

فشار خشک ، فشار ایزوستاتیک ، ریخته گری نوار ، قالب تزریق ، قالب تزریق ژل و سایر روشها معمولاً برای تبدیل پودر به بدن سبز سرامیکی استفاده می شود.

پخت و پز درجه حرارت بالا

بدن سبز سرامیکی از طریق پخت و پز فشار طبیعی ، پخت و پز ، پخت و پز ، جو و سایر روشها به بدن پخته شده متراکم تبدیل می شود.

ماشینکاری دقیق

بدنه پخته شده سرامیکی سرامیک با استفاده از لت های CNC ، چرخ های و غیره پردازش می شود تا به اندازه و دقت لازم برسد.

بازرسی با کیفیت

ظاهر ، اندازه ، تخلخل ، زبری و سایر خصوصیات قطعات سرامیکی برای اطمینان از کیفیت محصول مورد آزمایش قرار می گیرد.

درمان سطحی

سطح محصولاتی که از بازرسی با کیفیت عبور می کنند تمیز می شوند ، و برای نیازهای ویژه مانند اسپری قوس ، پاشش پلاسما و غیره ، درمان سطح بیشتری لازم است.

Semicorex با کیفیت بالا ارائه می دهدقطعات سرامیکیدر نیمه هادی اگر سؤالی دارید یا به جزئیات بیشتری احتیاج دارید ، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن با شماره +86-13567891907 تماس بگیرید

ایمیل: sales@semicorex.com