بخاری گرافیتی روکش شده با روکش رسانا

دربخاری گرافیتی روکش دارمحصولی جدید است که برای پردازش نیمه هادی درجه حرارت بالا و سایر سیستم های حرارتی خلاء طراحی شده است. از پایداری حرارتی خوب گرافیت با خلوص بالا و ویژگی های سطح عالی یک پوشش کاربید سیلیکون (SIC) استفاده می کند. بخاری گرافیتی روکش شده با روکش رسانا با لایه SIC دوپ شده نیتروژن آن که هدایت سطح بسیار خوبی را ارائه می دهد ، متفاوت است و این امر را به ویژه برای برنامه هایی که نیاز به کنترل و حتی گرمایش با عملکرد الکتریکی دارند ، مناسب است.

بخاری با یک بستر گرافیتی با استحکام بالا ساخته شده است که به عنوان هادی ساختاری و حرارتی اصلی عمل می کند. این گرافیت به طور خاص با توجه به سطح بالای هدایت حرارتی ، ضریب انبساط حرارتی کم و مقاومت در برابر شوک حرارتی انتخاب شد. این خصوصیات گرافیت را به یک ماده پایه مناسب در برنامه های فرآیند دمای بالا تبدیل می کند که در آن ممکن است چرخه گرمایشی و سرمایش سریع وجود داشته باشد. با این حال ، گرافیت بکر خود در جوهای خاص از نظر شیمیایی واکنشی است و می تواند آسیب سطح یا تخریب ، انتشار ذرات یا حمل و نقل را در طول استفاده طولانی ، به ویژه در محیط های تمیز نیمه هادی تجربه کند.

برای غلبه بر این محدودیت ها ، قسمت گرافیت با یک لایه SIC ضخیم و با خلوص بالا پوشش داده می شود. پوشش SIC عملکردهای مختلفی را ارائه می دهد: سطح محافظت در برابر اکسیداسیون و خوردگی شیمیایی را فراهم می کند ، سطح بسیار سخت و مقاوم در برابر سایش را فراهم می کند و سازگاری با استانداردهای خلاء و تمیز را تضمین می کند. SIC برای سختی شدید ، هدایت حرارتی بالا و عدم تحرک شیمیایی شهرت دارد. به همین دلیل این یک ماده پوشش عالی برای اجزای حرارتی با کارایی بالا است.

نوآوری منحصر به فرد این محصول ، دوپینگ نیتروژن پوشش SIC است. در طی فرآیند رسوب بخار شیمیایی (CVD) ، اتم های نیتروژن در شبکه SIC تعبیه شده و حامل های آزاد تولید می کنند که می تواند مقاومت سطح آن را به طرز چشمگیری کاهش دهد ، و بنابراین یک لایه سطح رسانا ایجاد می کند و اجازه می دهد تا جریان مستقیماً به جای استفاده از یک نقطه دسترسی ، از طریق پوشش SIC عبور کند ، بنابراین اجازه می دهد کل مؤلفه گرافیت به عنوان گرمایش مقاومت کند.

باستانیپوششعایق هستند ، که واقعاً آنها را در محدوده کاربردهای الکتریکی فعال محدود می کند. در مقابل ، لایه SIC دوپ شده نیتروژن روی بخاری دارای مقاومت در سطح بسیار کمی است در حالی که هنوز هم تمام مزایای مکانیکی و شیمیایی SIC کلاسیک را حفظ می کند. لایه رسانا یکنواختی جریان بسیار خوبی را فراهم می کند و ضمن بهبود توزیع حرارتی بر روی سطح بخاری ، از دست دادن برق به حداقل می رسد. این امر به ویژه برای کاربردهای دقیق گرمایش در شرایطی که اغلب با راکتورهای اپیتاکسیال ، کوره های انتشار و تجهیزات پردازش سریع حرارتی (RTP) همراه است ، ایده آل است.

هندسه بخاری ، به طور معمول مارپیچ یا مارپیچ همانطور که در تصویر نشان داده شده است ، با هدف تولید یکنواخت انرژی خروجی حرارتی یکنواخت و بارگذاری الکتریکی یکنواخت طراحی و بهینه می شود. با طراحی یکپارچه از پوشش گرافیت و SIC SIC ، مخاطبین الکتریکی می توانند مستقیماً بر روی سطح روکش شده ساخته شوند که نیاز به هرگونه الکترودهای اضافی یا اتصال فلزی را از بین می برد. این خطرات آلودگی را کاهش می دهد و منجر به یک مونتاژ ساده تر می شود. در نتیجه ، راندمان کلی بهبود یافته است.

مزایای اصلی رسانابخاری گرافیتی با روکش SICشامل:

هدایت الکتریکی عالی به دلیل دوپینگ نیتروژن ، امکان جریان مستقیم جریان و گرمایش مقاومت کارآمد.

یکنواختی حرارتی برتر با کنترل دما دقیق بر کل سطح سطح.

مقاومت شیمیایی بالا ، به ویژه در محیط های خورنده مانند هیدروژن ، آمونیاک یا جوهای غنی از هالوژن.

تولید ذرات حداقل ، برآورده کردن نیازهای خلوص دقیق ساخت نیمه هادی.

عمر خدمات گسترده ، به دلیل دوام مکانیکی و مقاومت در برابر شوک حرارتی هر دو هسته گرافیت و پوشش SIC.

برنامه های این بخاری در تعدادی از صنایع پیشرفته فناوری گسترش یافته است. بخاری مکانی در فرآیندهای تولید نیمه هادی مانند رسوب بخار شیمیایی (CVD) ، اپیتاکس پرتو مولکولی (MBE) و بازپخت ویفر پیدا می کند ، جایی که کنترل دقیق دما و خلوص مواد بسیار مهم است. بخاری گرافیتی با پوشش SIC همچنین می تواند در تولید فتوولتائیک ، پخت سرامیک های پیشرفته و در سایر فرآیندهای حرارتی که در آن به عملکرد بالاتر ، دوام و بخاری های قوی نیاز است ، استفاده شود.

به طور خلاصه ، بخاری گرافیت با پوشش SIC با پوشش SIC پیشرفت چشمگیر در توسعه اجزای حرارتی است. با استفاده از یک پوشش SIC دوپ شده نیتروژن ، ما یک محصول حرارتی مؤثر تولید کرده ایم که با موفقیت ترکیب ثبات شیمیایی پوشش SIC را با هدایت الکتریکی ترکیب می کند. بنابراین ، تولید یک فرآیند حرارتی که کارآمدتر ، پاک تر و قابل اطمینان تر برای بیشترین کاربردهای صنعتی باشد. صنایع نیمه هادی و مواد با تغییر مداوم روبرو می شوند و مواد ترکیبی از این نوع در فعال کردن فن آوری های پیشرفته تر آینده برای تولید به طور فزاینده ای اهمیت می یابد.

Semicorex با کیفیت بالا ارائه می دهدبخاری های گرافیتی با پوششمحصولات اگر سؤالی دارید یا به جزئیات بیشتری احتیاج دارید ، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن با شماره +86-13567891907 تماس بگیرید

ایمیل: sales@semicorex.com