عملکرد حلقه های فوکوس چیست؟

حلقه های فوکوس اجزای ضروری برای اطمینان از یکنواختی و پایداری فرآیندهای اچینگ نیمه هادی هستند. از طریق کنترل دقیق میدان‌های الکتریکی و حرارتی، حلقه‌های فوکوس می‌توانند پلاسما را روی سطح ویفر متمرکز کنند و از نتایج حکاکی ثابت در تمام نقاط ویفر اطمینان حاصل کنند.

عملکرد حلقه های فوکوس

1. بهبود یکنواختی اچینگ

در فرآیند اچینگ، حلقه های فوکوس می توانند پلاسما را روی آن متمرکز کنندویفرسطح، که به طور موثر چگالی پلاسما یکنواخت، زاویه بمباران یونی و سطوح انرژی را در هر دو قسمت لبه ویفر و ناحیه مرکزی تضمین می کند. آنها توزیع میدان الکتریکی را در لبه ویفر تصحیح می کنند، نرخ اچینگ، ابعاد بحرانی و تغییرات مورفولوژی ناشی از اثرات لبه را کاهش می دهند، در نتیجه ثبات اچ را در کل سطح ویفر تضمین می کنند. اگر حلقه فوکوس بیش از حد فرسوده شود یا حلقه کانونی وجود نداشته باشد، پلاسما از لبه ویفر پخش می‌شود و در نهایت باعث ایجاد انحرافات غیر منطبق در عرض خط بین نواحی لبه و مرکز می‌شود.

2. از چاک الکترواستاتیک محافظت کنید

حلقه های فوکوس معمولاً در خارج از سطح حامل ویفر چاک های الکترواستاتیک نصب می شوند که مستقیماً در معرض بمباران پلاسما و خوردگی قرار دارند. این راه‌اندازی اقساطی به‌عنوان مانع فیزیکی برای جلوگیری از تماس پلاسما با چاک‌های الکترواستاتیک در طول فرآیند اچ کردن، در نتیجه خطر آسیب پلاسما را به میزان قابل توجهی کاهش می‌دهد. حلقه های فوکوس همچنین می توانند از چسبیدن محصولات جانبی تولید شده در طول فرآیند اچ به چاک های الکترواستاتیک جلوگیری کنند، بنابراین از تخریب عملکرد ناشی از آلودگی و گرفتگی چاک جلوگیری می کنند. این امر چرخه نگهداری و طول عمر چاک های الکترواستاتیک را تا حد زیادی افزایش می دهد و هزینه های نگهداری و تعویض تجهیزات را کاهش می دهد.

حلقه های فوکوس معمولا از خلوص بالا ساخته می شوندکوارتز, سیلیکونوکاربید سیلیکونمواد به لطف عملکرد جامع عالی، مواد کاربید سیلیکون به تدریج به گزینه اصلی برای فرآیندهای حکاکی پیشرفته تبدیل می شوند. Semicorex به عنوان یک تامین کننده حلقه تمرکز نیمه هادی قابل اعتماد در چین، کیفیت بالایی را ارائه می دهدحلقه های فوکوس کاربید سیلیکوناندازه های مختلف برای مطابقت با نیازهای مختلف تجهیزات اچ. Semicorex از سوالات و خریدهای شما در هر زمان استقبال می کند.