Semicorex Ceramic در پردازش نیمه هادی استفاده می شود

با پیشرفت تکنولوژی، محصولات هوشمند مانند تلفن همراه، کامپیوتر، وسایل نقلیه الکتریکی و روبات ها در زندگی مردم ادغام شده اند. این محصولات حاوی تعداد زیادی تراشه نیمه هادی هستند و ساخت تراشه به تجهیزات نیمه هادی مانند ماشین های اچینگ، ماشین های لیتوگرافی و کاشت یونی نیاز دارد. باز کردن یک دستگاه نیمه هادی نشان می دهد که بیشتر اجزای آن قطعات سرامیکی هستند. قطعات سرامیکی دارای خواص عالی مانند مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر خوردگی، دقت بالا و استحکام بالا هستند که آنها را برای استفاده در تجهیزات نیمه هادی مناسب می کند. اکثر قطعات سرامیکی، به عنوان اجزای کلیدی در فرآیندهای تولید نیمه هادی، مستقیماً با ویفر تماس می گیرند و امکان کنترل با دقت بالا و گرمایش و خنک شدن سریع دمای سطح ویفر را فراهم می کنند.

قطعات سرامیکی نیمه هادی متعلق به سرامیک های پیشرفته هستند و مواد سرامیکی درگیر معمولاً شامل آلومینا، کاربید سیلیکون، نیترید آلومینیوم، نیترید سیلیکون و اکسید ایتریم است. روش های شکل دهی محصول سرامیکی معمولاً شامل پرس خشک، ریخته گری نواری، قالب گیری تزریقی، پرس ایزواستاتیک گرم، پرس ایزواستاتیک سرد، ریخته گری لغزشی، قالب گیری اکستروژن، ریخته گری داغ، ریخته گری ژل، و ریخته گری انجماد مستقیم است.

1. پرس های خشک

پرس خشک یک فرآیند رایج برای تولید قطعات نیمه هادی است. این فرآیند در درجه اول شامل ریختن پودر دانه‌بندی شده با توزیع اندازه ذرات مناسب در یک حفره قالب فلزی، اعمال فشار با سر فشار است. سر فشار در داخل حفره قالب حرکت می کند و فشار را به ذرات پودر منتقل می کند و آنها را فشرده می کند و در نهایت یک لایه سرامیکی با شکل و استحکام خاصی تشکیل می دهد.

2. ریخته گری

ریخته‌گری یک فناوری شکل‌دهی مرطوب است که قادر به تولید صفحات سرامیکی با ضخامت‌های مختلف از ده‌ها میکرومتر تا میلی‌متر در یک فرآیند واحد است. دوغاب سرامیکی با ویسکوزیته و پراکندگی خوب از شیار دوغاب یک ماشین ریخته گری روی یک بستر جریان می یابد. دوغاب پخش می شود و تحت کشش سطحی، یک لایه خالی با سطح بالایی صاف تشکیل می شود. خالی، همراه با بستر، به یک محفظه خشک کردن فرستاده می شود. پس از تبخیر حلال، یک بایندر آلی شبکه ای را بین ذرات سرامیکی تشکیل می دهد و یک لایه خالی با استحکام و انعطاف پذیری خاص ایجاد می کند. قسمت خالی خشک شده از زیرلایه جدا می شود و برای استفاده بعدی رول می شود. پردازش بیشتر، مانند برش، مهر زدن و سوراخ کردن، و به دنبال آن پختن، فرآیند تولید محصول را تکمیل می کند.

3. قالب گیری تزریقی

قالب گیری تزریقی یک فناوری جدید برای ساخت قطعات سرامیکی است. فرآیند تولید آن عمدتاً شامل چهار مرحله است: آماده سازی مواد تزریقی، قالب گیری تزریقی، جداسازی و تف جوشی. معمولاً برای ساخت قطعات سرامیکی کوچک با هندسه های پیچیده و الزامات خاص استفاده می شود.

4. پرس ایزواستاتیک

پرس ایزواستاتیک شامل پرس ایزواستاتیک گرم و پرس ایزواستاتیک سرد می باشد. پرس ایزواستاتیک می تواند فشار را از همه جهات منتقل کند و در نتیجه تراکم مواد ورق را تضمین می کند.

1) فرآیند پرس ایزواستاتیک داغ

این روش انتشار اتمی را در دما و فشار بالا افزایش می‌دهد و باعث می‌شود منافذ سرامیک به مرز دانه‌ها یا سطح قطعه کار مهاجرت کنند و در نتیجه تخلخل را کاهش یا از بین ببرند. پرس ایزواستاتیک گرم از واحدهای سیم پیچ پیش تنیده جداره نازک استفاده می کند که امکان خنک سازی یکنواخت و سریع را فراهم می کند و راندمان تولید را در مقایسه با خنک کننده طبیعی به طور قابل توجهی بهبود می بخشد.

2) فرآیند پرس ایزواستاتیک سرد

این روش 100 ~ 600 مگاپاسکال را روی پودر سرامیک یا فلز در دمای اتاق یا دمای کمی بالاتر (<93 درجه سانتیگراد) اعمال می کند تا یک "جسم سبز" به دست آید، که سپس به استحکام نهایی خود پخته می شود.

5. ریخته گری لغزنده

ریخته گری لغزشی یک روش قالب گیری رایج در تولید سرامیک در مقیاس بزرگ است. این شامل تزریق دوغاب با محتوای جامد بالا و سیالیت خوب به یک قالب گچی متخلخل است. به دلیل مکش مویرگی قالب متخلخل، آب از دوغاب توسط دیواره داخلی قالب گرفته می شود و بدنه سبز رنگ جامد شده ای را در امتداد دیواره قالب تشکیل می دهد. هنگامی که بدنه سبز به استحکام خاصی رسید، می توان آن را قالب زد.

6. قالب گیری اکستروژن

قالب گیری اکستروژن شامل مخلوط کردن پودر سرامیک، خاک رس یا چسب آلی و آب، ورز دادن مکرر، گاز زدایی در خلاء و پیری است تا به بدنه سبز اکسترود شده انعطاف و یکنواختی خوبی بدهد. سپس تحت عمل یک پیچ اکستروژن یا پیستون، از طریق یک قالب در نازل اکسترودر اکسترود می شود تا شکل محصول مورد نظر به دست آید.

7. ریخته گری مطبوعات داغ

ریخته گری پرس داغ عمدتاً از خاصیت ذوب موم پارافین در هنگام گرم شدن و جامد شدن در هنگام خنک شدن استفاده می کند. پودر سرامیک و موم پارافین داغ به طور یکنواخت مخلوط می شوند تا یک دوغاب قابل روان تشکیل شود. تحت فشار معین، دوغاب به یک قالب فلزی تزریق می شود تا یک بدنه سبز رنگ ایجاد شود. پس از سرد شدن و انجماد، بدنه سبز رنگ جدا شده و خارج می شود. سپس بدنه سبز رنگ بریده می شود، در دمای بالا موم زدایی می شود و در نهایت برای تولید محصول نهایی پخته می شود.

8. ریخته گری ژل

ریخته گری ژل شامل پراکندگی پودر سرامیک در محلولی حاوی مواد آلی برای تهیه سوسپانسیون با جامد بالا است. سپس این سوسپانسیون در قالبی با شکل خاصی تزریق می شود. در شرایط خاص کاتالیزوری و دمایی، مونومرهای آلی پلیمریزه می شوند، ژل تشکیل می دهند، سوسپانسیون را در محل جامد می کنند و خشک می شوند و در نتیجه بدنه ای سبز رنگ با استحکام بالا ایجاد می شود.

9. ریخته گری انجماد مستقیم

ریخته گری انجماد مستقیم یک روش جدید برای تشکیل ساختارهای کلوئیدی به اندازه شبکه سرامیکی است. این روش فناوری سنتی سرامیک را با تئوری شیمیایی ترکیب می‌کند و از کاتالیزورها یا آغازگرها برای ایجاد پیوند متقابل مونومرهای آلی اضافه شده به سوسپانسیون استفاده می‌کند و ساختار شبکه‌ای را تشکیل می‌دهد که منجر به انجماد درجا می‌شود.

Semicorex انواع مختلفی را ارائه می دهداجزای سرامیکی. اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن تماس 86-13567891907

ایمیل: sales@semicorex.com