تجهیزات LPE

در قلمرو ساخت دستگاه های نیمه هادی، کنترل دقیق رشد کریستال برای دستیابی به دستگاه های با کیفیت و قابل اعتماد بسیار مهم است. یکی از تکنیک هایی که نقش محوری در این حوزه داشته است، اپیتاکسی فاز مایع (LPE) است.

اصول اساسی LPE:

اپیتاکسی به طور کلی به رشد یک لایه کریستالی بر روی بستری با ساختار شبکه ای مشابه اشاره دارد. LPE، یک تکنیک اپیتاکسیال قابل توجه، شامل استفاده از محلول فوق اشباع از ماده ای است که قرار است رشد کند. بستر، معمولا تک کریستالی، برای مدت زمان مشخصی با این محلول در تماس است. هنگامی که ثابت‌های شبکه زیرلایه و ماده‌ای که قرار است رشد کنند با هم مطابقت دارند، مواد بر روی بستر رسوب می‌کنند و در عین حال کیفیت کریستالی را حفظ می‌کنند. این فرآیند منجر به تشکیل یک لایه اپیتاکسیال منطبق با شبکه می شود.

تجهیزات LPE:

انواع مختلفی از دستگاه رشد برای LPE ایجاد شده است که هر کدام مزایای منحصر به فردی را برای کاربردهای خاص ارائه می دهند:

کوره لوله کشی:

بستر در یک انتهای یک قایق گرافیتی در داخل یک لوله کوارتز قرار می گیرد.

محلول در انتهای دیگر قایق گرافیتی قرار دارد.

یک ترموکوپل متصل به قایق دمای کوره را کنترل می کند.

جریان هیدروژن از طریق سیستم از اکسیداسیون جلوگیری می کند.

کوره به آرامی نوک می شود تا محلول در تماس با بستر قرار گیرد.

پس از رسیدن به دمای مطلوب و رشد لایه اپیتاکسیال، کوره به حالت اولیه خود برمی گردد.

کوره عمودی:

در این پیکربندی، بستر در محلول فرو می‌رود.

این روش یک رویکرد جایگزین برای کوره تیپینگ فراهم می کند و تماس لازم بین بستر و محلول را به دست می آورد.

کوره Multibin:

محلول های متعدد در سطل های متوالی در این دستگاه نگهداری می شوند.

بستر را می توان در تماس با محلول های مختلف قرار داد و امکان رشد متوالی چندین لایه همپایی را فراهم کرد.

این نوع کوره به طور گسترده برای ساخت سازه های پیچیده مانند آنچه برای دستگاه های لیزر مورد نیاز است استفاده می شود.

کاربردهای LPE:

از زمان نمایش اولیه خود در سال 1963، LPE با موفقیت در ساخت دستگاه های مختلف نیمه هادی مرکب III-V به کار گرفته شده است. اینها شامل لیزرهای تزریقی، دیودهای ساطع نور، آشکارسازهای نوری، سلول‌های خورشیدی، ترانزیستورهای دوقطبی و ترانزیستورهای اثر میدانی هستند. تطبیق پذیری و توانایی آن برای تولید لایه های همپایی با کیفیت بالا و شبکه همسان، LPE را به سنگ بنای توسعه فناوری های نیمه هادی پیشرفته تبدیل کرده است.

اپیتاکسی فاز مایع به عنوان گواهی بر نبوغ و دقت مورد نیاز در ساخت دستگاه های نیمه هادی است. محققان و مهندسان با درک اصول رشد کریستالی و بهره‌گیری از قابلیت‌های دستگاه LPE، توانسته‌اند دستگاه‌های نیمه‌رسانای پیچیده‌ای با کاربردهای مختلف از مخابرات گرفته تا انرژی‌های تجدیدپذیر ایجاد کنند. همانطور که فناوری به پیشرفت خود ادامه می دهد، LPE یک ابزار حیاتی در زرادخانه تکنیک هایی است که آینده فناوری نیمه هادی را شکل می دهد.

Semicorex کیفیت بالایی را ارائه می دهدقطعات CVD SiC برای LPEبا خدمات سفارشی اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن تماس 86-13567891907

ایمیل: sales@semicorex.com