محصولات کوارتز در کاربردهای نیمه هادی

در صنعت نیمه هادی، کوارتز به طور گسترده مورد استفاده قرار می گیرد و محصولات کوارتز با خلوص بالا حتی از مواد مصرفی مهم تری در تولید ویفر هستند. برای تولید بوته های تک کریستال سیلیکونی، قایق های کریستالی، لوله های هسته کوره انتشار و سایر اجزای کوارتز باید از محصولات شیشه ای کوارتز با خلوص بالا استفاده شود. قطعات کوارتز در زمینه نیمه هادی، کاربردهای اصلی بازار هدف برای فرآیند پخش و حکاکی ریخته گری ویفر، را می توان به دو دسته دستگاه های منطقه با دمای بالا و دستگاه های منطقه با دمای پایین تقسیم کرد، از دستگاه های اصلی به شرح زیر استفاده می شود:

1) دستگاه های منطقه با دمای بالا عمدتاً اکسیداسیون انتشار هستند و سایر جنبه های استفاده از لوله های کوره، قفسه های قایق شیشه ای و غیره، باید در یک محیط با دمای بالا، به طور مستقیم یا غیر مستقیم در تماس با ویفر سیلیکونی باشند. عمدتاً تهیه مواد شیشه ای کوارتز الکتروفیوز شده، تولید شده از طریق پردازش حرارتی.

2) دستگاه های منطقه با دمای پایین عمدتاً پیوندهای حکاکی مانند حلقه های کوارتز هستند، اما همچنین شامل سبدهای فرآیند تمیز کردن، مخازن تمیز کردن و غیره هستند که عمدتاً در محیط های با دمای پایین استفاده می شوند. به طور عمده شیشه کوارتز پالایش گاز را از طریق تولید فرآوری سرد خریداری کرد

در این میان، دستگاه‌های منطقه دمای بالا سریع‌تر مصرف می‌کنند، اما مشابه دستگاه چند تراشه‌ای (حمری برای حمل بیش از یک ویفر)، دستگاه‌های منطقه دمای پایین مصرف کمتری دارند، اما یکپارچه (حامل برای حمل ویفر) ; بنابراین، دو اندازه کلی بازار نسبتاً نزدیک به یکدیگر است.