اهمیت مواد گرافیت متخلخل برای رشد کریستال SiC

جزء کوره رشد کریستال SiC Semicorex،بشکه گرافیت متخلخل، سه مزیت عمده را به همراه خواهد داشت و می تواند به طور موثر رقابت پذیری داخلی را تقویت کندبسترهای SiC:

• کاهش هزینه اجزای رشد کریستال SiC؛
• افزایش ضخامت کریستال SiC و کاهش هزینه کلی بستر.
• بهبود عملکرد کریستال SiC و افزایش رقابت شرکت.

افزودن صفحات گرافیت متخلخل به کوره های رشد کریستال SiC یکی از نقاط داغ در صنعت است. ثابت شده است که با درج الفگرافیت متخلخلورق های بالای پودر منبع SiC، انتقال جرم خوبی در ناحیه کریستال حاصل می شود که می تواند مشکلات فنی مختلف موجود در کوره های رشد کریستال سنتی را بهبود بخشد.

(الف) کوره رشد کریستال سنتی، (ب) کوره رشد کریستال با ورق گرافیت متخلخل

منبع: دانشگاه دونگوی، کره جنوبی

آزمایش‌ها نشان داده‌اند که هنگام استفاده از کوره‌های رشد کریستال سنتی، بسترهای SiC معمولاً متنوع هستندچند شکلی، مانند 6H و 15R-SiC، در حالی کهبسترهای SiCتهیه شده با استفاده از کوره های رشد کریستال متخلخل مبتنی بر گرافیت تنها دارایتک کریستال 4H-SiC. علاوه بر این، تراکم میکرولوله (MPD) و تراکم حفره اچینگ (EPD) نیز به طور قابل توجهی کاهش می یابد. MPD دو کوره رشد کریستالی به ترتیب 6-7EA/cm2 و 1-2EA/cm2 است که می تواندتا 6 برابر کاهش می یابد.

Semicorex همچنین یک فرآیند جدید "انتقال جرم یکباره" را بر اساسورق های گرافیت متخلخل. گرافیت متخلخل بسیار خوب استتوانایی تصفیه. فرآیند جدید از یک میدان حرارتی جدید برای انتقال جرم اولیه استفاده می‌کند، که باعث می‌شود راندمان انتقال جرم بهبود یافته و اساساً ثابت باشد، در نتیجه تأثیر تبلور مجدد (جلوگیری از انتقال جرم ثانویه) کاهش می‌یابد، به طور موثر خطر میکروتوبول‌ها یا سایر نقص‌های کریستالی مرتبط کاهش می‌یابد. علاوه بر این، گرافیت متخلخل نیز یکی از فناوری‌های اصلی برای حل مشکل رشد و ضخامت کریستال SiC است، زیرا می‌تواند اجزای فاز گاز را متعادل کند، ناخالصی‌های ردیابی را جدا کند، دمای محلی را تنظیم کند و ذرات فیزیکی مانند بسته‌بندی کربن را کاهش دهد. با این فرض که می توان از کریستال استفاده کرد،ضخامت کریستالرا می توان کاهش داد. می تواند به میزان قابل توجهی افزایش یابد.

ویژگی های فنی ازگرافیت متخلخل Semicorex:

تخلخل می تواند تا 65٪ برسد.

منافذ به طور مساوی توزیع شده اند.

پایداری دسته ای بالا؛

استحکام بالا، می‌تواند به شکل استوانه‌ای بسیار نازک ≤1 میلی‌متری برسد.

Semicorex کیفیت بالایی را ارائه می دهدگرافیت متخلخلقطعات. اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن تماس 86-13567891907

ایمیل: sales@semicorex.com