قایق SiC چیست و فرآیندهای مختلف تولید آن چیست؟

1. فرآیندهای مختلف تولید ازقایق SiC

(1) پوشش یک لایه ازفیلم SiCروی سطح گرافیتقایق های کریستالیاز طریق CVD

این نوع قایق دارای هسته گرافیتی است که به صورت یک تکه تراشیده می شود. با این حال،گرافیت متخلخل استو مستعد تولید ذرات است که نیاز به استفاده از aپوشش فیلم SiCروی سطح آن به دلیل عدم تطابق در ضریب انبساط حرارتی (CTE) بین بدنه گرافیت وفیلم SiC، احتمالاً پوشش پس از چندین چرخه گرمایش و سرمایش کنده می شود و منجر به آلودگی ذرات می شود. این قایق ها کم هزینه ترین هستند و عمری در حدود یک سال دارند.

(2) پوشش یک لایه ازفیلم SiCدر تبلور مجددقایق های کریستالی SiC

تبلور مجددقایق های SiCهمچنین متخلخل هستند و به راحتی می توانند ذرات تولید کنند. بنابراین، اجزای منفرد از تبلور مجددقایق های SiCباید از قبل شکل گرفته، زینتر شده و سپس جداگانه ماشین کاری شوند. سپس اجزاء در دماهای بالا با استفاده از خمیر Si به یکدیگر متصل می شوند. هنگامی که در یک قایق جمع می شوند، aفیلم SiCاز طریق CVD اعمال می شود. این تبلور مجدد یافتقایق SiCطولانی ترین فرآیند تولید و پرهزینه است، اما سطحپوشش CVDهمچنین می تواند آسیب ببیند، با طول عمر حدود سه سال.

(3)یکپارچهقایق های کریستالی SiC

اینهاقایق هابه طور کامل از مواد SiC تشکیل شده است. پودر SiC باید قالب گیری شده و به شکل یک قایق یکپارچه پخته شود. بسیار پرهزینه، بسیار بادوام هستند و احتمال کمتری تولید ذرات دارند. با این حال، این قایق ها حاوی 10-15٪ سیلیکون آزاد هستند که مستعد فرسایش توسط فلوئور و کلر است که منجر به آلودگی ذرات می شود.

2. چرا خشک شویی توصیه نمی شود؟

به طور خلاصه، برایقایق های SiCپوشش داده شده با aفیلم SiC از طریق CVD، پوشش سطح در هنگام خشکشویی مستعد لایه برداری است که باعث آلودگی ذرات می شود. برای یکپارچهقایق های SiCکه حاوی مقدار کمی سیلیکون آزاد هستند، قرار گرفتن در معرض گازهای حاوی فلوئور یا کلر می تواند منجر به فرسایش و تولید ذرات شود و در نتیجه باعث آلودگی شود.**