فناوری اپیتاکسی ویفر کاربید سیلیکون

سیلیکون کاربیدبه طور کلی از روش PVT، با دمای بیش از 2000 درجه، چرخه پردازش طولانی و خروجی کم استفاده می کند، بنابراین هزینه زیرلایه های سیلیکون کاربید بسیار بالا است. فرآیند اپیتاکسیال کاربید سیلیکون اساساً مانند سیلیکون است، به جز طراحی دما و طراحی ساختاری تجهیزات. از نظر آماده سازی دستگاه، به دلیل خاص بودن ماده، فرآیند دستگاه با سیلیکون متفاوت است زیرا از فرآیندهای با دمای بالا، از جمله کاشت یون در دمای بالا، اکسیداسیون در دمای بالا و فرآیندهای بازپخت در دمای بالا استفاده می کند.

اگر می خواهید ویژگی های آن را به حداکثر برسانیدسیلیکون کاربیدبه خودی خود، ایده آل ترین راه حل رشد یک لایه اپیتاکسیال روی یک بستر تک کریستالی سیلیکون کاربید است. ویفر اپیتاکسیال سیلیکون کاربید به ویفر سیلیکون کاربید اطلاق می شود که روی آن یک لایه نازک تک کریستالی (لایه همپایی) با الزامات خاص و همان کریستال زیرلایه روی یک بستر کاربید سیلیکون رشد می کند.

چهار شرکت بزرگ در بازار برای تجهیزات اصلی وجود داردمواد اپیتاکسیال کاربید سیلیکون:

[1]اکستروندر آلمان: با ظرفیت تولید نسبتاً بزرگ مشخص می شود.

[2]LPEدر ایتالیا، که یک میکرو کامپیوتر تک تراشه با سرعت رشد بسیار بالا است.

[3]تلفنونوفلارهدر ژاپن که تجهیزات آن بسیار گران است و ثانیا حفره دوگانه که تاثیر خاصی در افزایش تولید دارد. در میان آنها، Nuflare یک دستگاه بسیار متمایز است که در سال های اخیر راه اندازی شده است. می تواند با سرعت بالا تا 1000 دور در دقیقه بچرخد که برای یکنواختی اپیتاکسی بسیار مفید است. در عین حال، جهت جریان هوای آن با سایر تجهیزات متفاوت است که به صورت عمودی به سمت پایین است، بنابراین می تواند از تولید برخی ذرات جلوگیری کند و احتمال چکیدن روی ویفر را کاهش دهد.

از منظر لایه کاربرد ترمینال، مواد کاربید سیلیکون طیف وسیعی از کاربردها در راه آهن پرسرعت، الکترونیک خودرو، شبکه هوشمند، اینورتر فتوولتائیک، الکترومکانیک صنعتی، مرکز داده، کالاهای سفید، لوازم الکترونیکی مصرفی، ارتباطات 5G، بعدی نمایش نسل و زمینه های دیگر، و پتانسیل بازار بسیار زیاد است.

Semicorex کیفیت بالایی را ارائه می دهدقطعات پوشش CVD SiCبرای رشد اپیتاکسیال SiC. اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.

تلفن تماس 86-13567891907

ایمیل: sales@semicorex.com