ویفر ساختگی چیست؟

یک ساختگیویفرویفر تخصصی است که عمدتاً برای پر کردن تجهیزات دستگاه در طول فرآیند تولید ویفر استفاده می شود. برخلاف ویفرهای تولیدی، ویفرهای ساختگی برای فروش به عنوان محصولات نهایی در نظر گرفته نشده اند و معمولاً در تولید واقعی استفاده نمی شوند. هدف اصلی آنها برآوردن نیازهای عملیاتی تجهیزات خاص، افزایش پایداری فرآیند، بهینه سازی استفاده از منابع و کاهش خطرات تولید است. بنابراین، طراحی و کاربرد ویفرهای ساختگی یک جزء حیاتی در مدیریت تولید ویفر (fab) است.

توابع کلیدی Dummyویفر

1. ظرفیت تجهیزات پر کردن: تجهیزات تولیدی خاص، مانند لوله های کوره و اچرها، به حداقل تعداد ویفر در طول کار برای حفظ جریان هوا، میدان های دما و محیط های واکنش شیمیایی پایدار نیاز دارند. اگر ویفرهای تولیدی کمتری در تجهیزات قرار داده شود، ثبات عملکرد می تواند به خطر بیفتد و بر کیفیت فرآیند تأثیر منفی بگذارد. ویفرهای ساختگی برای تکمیل تعداد ویفرها استفاده می‌شوند و اطمینان حاصل می‌کنند که تجهیزات با بار بهینه کار می‌کنند، مشابه آنچه که یک اجاق با بار کامل گرمایش یکنواخت را فراهم می‌کند.

2. حفاظت از ویفرهای تولید: در فرآیندهای پرخطر مانند کاشت یون، اچ کردن، و رسوب بخار شیمیایی (CVD)، ممکن است در مراحل اولیه ناپایداری یا تولید ذرات وجود داشته باشد. استفاده مستقیم از ویفرهای تولیدی باعث کاهش عملکرد برگشت ناپذیر می شود. ویفرهای ساختگی به عنوان یک اقدام احتیاطی عمل می کنند و ایمنی فرآیندها را قبل از معرفی ویفرهای تولیدی ارزیابی می کنند.

3. توزیع یکنواخت بارهای فرآیند: در طول پردازش، ویفرهای درون حامل ها (مانند لوله های کوره یا محفظه های اچینگ) باید به طور یکنواخت توزیع شوند تا از نتایج ثابت اطمینان حاصل شود. به عنوان مثال، در رسوب گذاری بخار فیزیکی (PVD)، قرارگیری نامتقارن می تواند بر نرخ رسوب گذاری و یکنواختی ضخامت تأثیر منفی بگذارد. ویفرهای ساختگی به ایجاد تعادل در چیدمان کمک می کند و ثبات و یکنواختی را در طول فرآیند ارتقا می دهد.

4. کاهش هزینه های بیکاری تجهیزات: تجهیزات در تولید ویفر منابع قابل توجهی را در طول راه اندازی و خاموش شدن مصرف می کند. بیکاری طولانی مدت به دلیل کمبود ویفرهای تولید می تواند باعث هدر رفتن منابع و کاهش عملکرد شود. پردازش ویفرهای ساختگی تجهیزات را فعال و آماده برای تولید آینده نگه می دارد.

5. انجام تأیید تجهیزات و اشکال زدایی فرآیند: ویفرهای ساختگی اغلب به عنوان حامل تأیید برای تجهیزات عمل می کنند. پس از نگهداری و تمیز کردن، از این ویفرها برای بررسی عملکرد تجهیزات استفاده می شود. در صورت بروز هر گونه مشکل، می توان بدون هدر دادن ویفرهای با ارزش تولید، تنظیمات را انجام داد. این فرآیند مشابه استفاده از تایرهای آزمایشی روی خودرو قبل از جایگزینی آنها با تایرهای تولیدی پرهزینه است.

به طور خلاصه، Dummyویفرنقش اساسی در فرآیند تولید ویفر دارند. استفاده مؤثر از آنها به نگهداری تجهیزات، اشکال زدایی فرآیند، بهینه سازی منابع و کارایی کلی تولید کمک می کند و به کاهش هزینه ها کمک می کند و در عین حال استفاده از تجهیزات و ثبات فرآیند را افزایش می دهد.