MOCVD تجهیزات کلیدی است

تجهیزات MOCVD تجهیزات کلیدی در فرآیند تولید صنعت نیمه هادی است، اما بخش زیادی از سرمایه گذاری تجهیزات در زنجیره صنعت نیمه هادی (سه فرآیند و تجهیزات اصلی: لیتوگرافی، اچینگ، رسوب لایه نازک)، سرمایه گذاری خط تولید LED، MOCVD مقدار سرمایه گذاری می تواند تا 50٪ باشد. در تجهیزات CVD، بستر را نمی توان مستقیماً روی فلز قرار داد یا به سادگی روی یک پایه برای رسوب دهی همپایی قرار داد، زیرا شامل تأثیر عوامل مختلفی مانند جهت جریان گاز (افقی، عمودی)، دما، فشار، تثبیت می شود. ، از بین بردن آلاینده ها. بنابراین از یک پایه استفاده می شود و بستر روی دیسک قرار می گیرد و سپس با استفاده از فناوری CVD، رسوب اپیتاکسیال در بالای بستر انجام می شود. این پایه گرافیت با پوشش SiC استگیرنده(که می توان آن را الف نیز نامیدحامل) و ساختار آن در شکل زیر نشان داده شده است.